¾Æ½Ã¾Æ ÃÖ°íÀÇ ·¹ÀÌÀú ¼Ò½º Àü·«±âÁö ¸ð»ö / ÄÚÈ÷·±Æ® ÄÚ¸®¾Æ(À¯)
¡°ºü¸£°Ô º¯ÈÇÏ°í ¹ßÀüÇÏ´Â ·¹ÀÌÀú ½ÃÀå¿¡ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´ëÀÀü°è ¸¶·ÃÀÌ ½Ã±ÞÇÏ´Ù. ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾Æ´Â ·¹ÀÌÀú ¼Ò½ºÀÇ »ý»ê¿¡¼ºÎÅÍ ÀÀ¿ë±â¼ú °³¹ß, ¹ßºü¸¥ »çÈÄ ¼ºñ½º µîÀ» ÅëÇØ ¾Æ½Ã¾Æ ·¹ÀÌÀú ±â¼úÀÇ Çãºê·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÒ °ÍÀÌ´Ù.¡± ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾ÆÀÇ ·¹ÀÌÀú ¼Ò½º Ŭ·¯½ºÅÍ°¡ ±¸Ã¼ÈµÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¹Ì °æ±âµµ ¿À»ê¿¡´Â Excimer Laser Tube ¼ö¸® ¹× »ý»ê °øÀåÀÌ ÀÚ¸®Àâ¾Æ ¼º°øÀûÀÎ ¼º°ú¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾Æ ¹Ú±â¶ô ´ëÇ¥ÀÇ ±¸»ó¿¡ µû¸£¸é 2015³â±îÁö Application Lab°ú ´Ù¸¥ ·¹ÀÌÀú »ý»ê½Ã¼³(CO2 Laser) µîÀÌ µé¾î¼³ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¿©±â¿¡ ÃÖ±Ù °ÈÇÑ °í°´ ±â¼úÁö¿ø ¼ºñ½º±îÁö ÇÕ·ùÇÑ´Ù¸é ÄÚÈ÷·±Æ®ÀÇ ¿À»ê »ý»ê±âÁö°¡ ¾Æ½Ã¾Æ ·¹ÀÌÀú ¼Ò½º Çãºê·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÏ´Â °ÍÀº ½Ã°£¹®Á¦ÀÏ °ÍÀÌ´Ù. ¹Ú±â¶ô ´ëÇ¥´Â ¡°½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸Á¶°Ç¿¡ ¸Â´Â ·¹ÀÌÀú °³¹ßÀ» ÁøÇàÇÏ°íÀÚ ÇÏ´õ¶óµµ ¿ö³« ·¹ÀÌÀú ½ÃÀåÀÇ ¹ßÀüÀÌ ºü¸£°Ô ÁøÇàµÇ±â ¶§¹®¿¡ ½±Áö ¾ÊÀº ÀÏÀÌ´Ù. ƯÈ÷ Çѱ¹Àº ¼¼°è ·¹ÀÌÀú ÀÀ¿ë ±â¼úÀ» ¼±µµÇÏ´Â Áö¿ªÀ¸·Î ´õ¿í ºü¸¥ ´ëó°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.¡±¸é¼ ¡°ÄÚÈ÷·±Æ® ³»¿¡¼µµ Çѱ¹ ·¹ÀÌÀú ½ÃÀåÀÇ ±Þ¼ºÀå¿¡ ¸¹Àº °ü½É°ú Áö¿øÀ» Áö¼ÓÇÏ°í ÀÖ´Ù.¡±°í ¹àÇû´Ù. ¼³¸³Àº ¸¸ 7³â, ¸ÅÃâ¾×Àº 10¹è »óȸ ¿Ü»ê ·¹ÀÌÀú ¼Ò½º ±â¾÷ÀÇ ¼º°ø½ÅÈ Ã¢Ãâ ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾Æ´Â 2006³â ¼³¸³µÈ ±â¾÷À¸·Î ¸¸ 7³â¸¸¿¡ ¸ÅÃâ¾×Àº 10¹è¸¦ »óȸÇÒ Á¤µµ·Î ±Þ¼ºÀåÀ» Áö¼ÓÇÏ°í ÀÖ´Ù. Á÷¿øµµ ¼³¸³ ´ç½Ã 15¸í¿¡¼ 100¿©¸íÀ¸·Î ±¹³» ·¹ÀÌÀú »ê¾÷À» °ßÀÎÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÏ°í ÀÖ´Ù. 25³â ¸ÕÀú ¼³¸³ÇÑ ÀϺ» Áö»ç(1981³â ¼³¸³)¿Í ºñ½ÁÇÑ ±Ô¸ð·Î, ÀÌ¹Ì ¸ÅÃâ¾×°ú °í¿ëÀηÂÀº µ¿µîÇÑ ¼±¿¡ µé¾î¼¹´Ù. ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾ÆÀÇ ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â ¸ÅÃâµµ ±Þ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÁÖ¿ä ºÎºÐÀº Ç÷§Æгεð½ºÇ÷¹ÀÌ(FPD) »ê¾÷À¸·Î, FPD ½ÃÀå Ư¼º»ó ´ë±â¾÷°úÀÇ °Å·¡°¡ ÁÖ¸¦ ÀÌ·ç¸ç °ü·Ã ±â¾÷ÀÇ ÅõÀÚ È®´ë°¡ È£Àç·Î ÀÛ¿ëÇß´Ù. ¶ÇÇÑ ÃÖ±Ù ±Þ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ´Â Áß±¹ FPD ½ÃÀå¿¡ ÁøÃâÇÏ°í ÀÖ´Â ±¹³» ·¹ÀÌÀú ½Ã½ºÅÛ ±â¾÷µéÀÇ ÀÇ·Úµµ ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾ÆÀÇ ¸ÅÃâ Çâ»ó¿¡ µµ¿òÀ» ÁÖ°í ÀÖ´Ù. ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾ÆÀÇ ¶Ç´Ù¸¥ ¼º°ø ÃàÀ¸·Î ÀÚ¸®ÀâÀº ¿À»ê Excimer Laser Tube »ý»ê °øÀåÀº ºü¸¥ ±â¼úÀÌÀü°ú »ý»ê¼ºÀ¸·Î ¹ú½á ¹Ì±¹ ÄÚÈ÷·±Æ® º»»çÀÇ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ÄÚÈ÷·±Æ®ÀÇ Excimer Laser »ý»ê±âÁö´Â µ¶ÀÏ¿¡ À̾î 2011³â ¿À»ê¿¡ µÎ ¹ø°·Î ¼³¸³µÇ¸é¼ Çѱ¹ÀÌ ¾Æ½Ã¾Æ ½ÃÀå¿¡¼ÀÇ Excimer Laser ÁÖ¿ä °ø±Þó·Î ±ÞºÎ»óÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇß´Ù. ƯÈ÷ 8~9°³ÀÇ Àüü ÄÚÈ÷·±Æ®ÀÇ ·¹ÀÌÀú »ý»ê±âÁö°¡ ¹ÌÁÖ ¹× À¯·´¿¡ Æ÷ÁøÇØ ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼ À̹ø ¿À»ê°øÀåÀÇ ¼ºÀå °¡´É¼ºÀº ¾Æ½Ã¾Æ ·¹ÀÌÀú ½ÃÀåÀÇ °ø±Þó·Î Çѱ¹ÀÌ ¼±µµÀûÀÎ À§Ä¡¿¡ µé¾î¼³ ¹ßÆÇÀ» ¸¶·ÃÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ¡°Çѱ¹ »ç¶÷Àº ±Ù¸éÇÏ¸é¼ ¼ÕÀçÁÖ°¡ ÁÁ¾Æ ±â¼ú ½Àµæ¿¡ ³î¶ó¿î ¼º°ú¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. 2³â¸¸¿¡ ´ëºÎºÐÀÇ ±â¼úÀÌÀüÀÌ ¿Ï·áµÆÀ¸¸ç, ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ ¼ºÀå °¡´É¼ºÀÌ ³ô¾Æ ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾ÆÀÇ ¸ÅÃâ È¿ÀÚ ºÐ¾ß·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù.¡±°í ¹Ú±â¶ô ´ëÇ¥´Â °Á¶Çß´Ù. ¶ÇÇÑ ÀϺ»Àº ¹°·Ð ¼¼°è ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ ·¹ÀÌÀú »ê¾÷±¹ÀÎ ¹Ì±¹ ½ÃÀåÀ» ³Ñ¾î¼°Ú´Ù´Â °ÍÀÌ ¹Ú ´ëÇ¥ÀÇ °¢¿À´Ù. ÁÖ¿ä ºÎÇ°ÀÇ Àü¼¼°è ³×Æ®¿öÅ©¸¦ ÅëÇÑ ºü¸¥ °ø±Þ 4½Ã°£ÀÇ ºü¸¥ ¼ºñ½º ½ÇÇö ¡®·¹ÀÌÀúÀÇ 4½Ã°£ »çÈÄ ¼ºñ½º¡¯°¡ ½ÇÇö °¡´ÉÇÑ ¸»ÀÎÁö ÀDZ¸½ÉÀÌ µå´Â °ÍÀÌ »ç½ÇÀÌ´Ù. ·¹ÀÌÀú »ê¾÷Àº ÀüÅë »ê¾÷¿¡ ºñÇØ ÀÀ¿ë ±â¼úÀÌ ¹«±Ã¹«ÁøÇÏ´Ù. ¹Ý¸é, »ê¾÷ ºÐ¾ß·ÎÀÇ ÁøÀÔ ¿ª»çµµ ª°í ¾ç»ê ½Ã¼³¿¡ µé¾î¼± °Íµµ ¾ó¸¶ µÇÁö ¾Ê´Â´Ù. ±×¸¸Å A/S¿¡ ´ëÇÑ ¼ºñ½º°¡ ºÎÁøÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â °ÍÀÌ Çö½ÇÀÌ´Ù. ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾Æ´Â »çÈÄ ¼ºñ½º¸¦ 24½Ã°£³» Á¦°øÇÏ°Ú´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù. ¿ì¼± Áö³ÇØ 10¿ù ¡®°í°´ ±â¼úÁö¿ø Äݼ¾ÅÍ¡¯¸¦ ¿î¿µÇÏ¸é¼ Á¦Ç° °ü·Ã ±â¼ú ¹× ¼ºñ½º ¼öÁØÀ» ³ô¿´´Ù. Áö¼ÓÀûÀÎ °È¸¦ À§Çؼ Àüü Á÷¿øÀÇ ¹Ý¼ö ÀÌ»óÀÎ 50¿©¸íÀÌ ¼ºñ½º ºÐ¾ß¸¦ ´ã´çÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¾ÕÀ¸·Îµµ Ãß°¡ÀûÀÎ ÀοøÈ®ÃæÀ» ÅëÇØ ¼ºñ½º ÁúÀ» °ÈÇØ ³ª°£´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù. ¡°Á¦Ç°¸¶´Ù A/S¸¦ Áö¿øÇÏ´Â ½Ã½ºÅÛÀÌ ´Ù¸£Áö¸¸, ¾ç»ê ½Ã¼³¿¡ ¼Ò¿äµÇ´Â ·¹ÀÌÀú´Â ±âº»ÀûÀ¸·Î 4½Ã°£ À̳»¿¡ ´ëÀÀÇÒ ¼ö Àִ ü°è¸¦ ¸¶·ÃÇÏ¿© ½ÇÇàÇØ ³ª°¥ °ÍÀÌ´Ù.¡±°í ¹Ú±â¶ô ´ëÇ¥´Â ¼³¸íÇÑ´Ù. ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾ÆÀÇ »çÈÄ ¼ºñ½º °È¿¡´Â ¿Ü»ê ±â¾÷°ú ±¹³» ±â¾÷°£ÀÇ ±â¾÷ ¹®È°¡ ÀÚ¸®Àâ°í ÀÖ´Ù. ¿Ü±¹°è ±â¾÷À̶ó¸é ¡®´ÊÀº »çÈÄ ¼ºñ½º¡¯¶ó´Â ±»¾îÁø ÀνÄÀ» Áö¿ì°Ú´Ù´Â ÀǹÌÀÌ´Ù. Excimer Laser »ý»êµµ ÀÌ·¯ÇÑ Àǹ̿¡¼ ÁøÇàµÆ´Ù. ÇâÈÄ ÃßÁøµÉ CO2 ·¹ÀÌÀú »ý»ê°øÀå ¼³¸³°ú ±â¼úÀÌÀüÀÌ ÀÌ·ïÁø´Ù¸é º»»ç¿¡¼ ÇØ°áÇÏ´ø ·¹ÀÌÀú ¼Ò½º ¹®Á¦¸¦ ±¹³»¿¡¼ ºü¸£°Ô ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡µµ °í¹«ÀûÀÌ´Ù. ¡°¹Ì±¹¿¡ º»»ç¸¦ µÐ ¼Ò½º ±â¾÷ÀÓ¿¡µµ »ý»ê °øÀåÀ» ´Ù¸¥ ³ª¶ó¿¡ ¼¼¿ì°Ú´Ù´Â °ÍÀº °í°´ ÀÀ´ë ¼Óµµ¸¦ ³ôÀÌ°Ú´Ù´Â ÀÇÁöÀ̸ç, ºü¸¥ »çÈÄ ¼ºñ½º´Â °í°´°ú ÄÚÈ÷·±Æ® ¸ðµÎ¿¡°Ô ÀÌÀÍÀÌ µÉ °Í¡±À̶ó°í ¹Ú±â¶ô ´ëÇ¥´Â °Á¶ÇÑ´Ù. ¹Ú ´ëÇ¥´Â ¶ÇÇÑ ¡°Áö³ÇØ ±¸ÃàµÇ¾î ¼ºñ½ºµÇ°í ÀÖ´Â ÄÚÈ÷·±Æ® º»»ç ¹× Áö»ç°£ÀÇ ¹°·ù ³×Æ®¿öÅ©¸¦ ÅëÇØ ÇÊ¿äÇÑ ÁÖ¿ä ºÎÇ°¿¡ ´ëÇÑ ¹ßºü¸¥ ¼ö±ÞÀ¸·Î ¼ºñ½º ½Ã°£À» ´ÜÃàÇÏ´Â °Íµµ °í°´¿¡ ´ëÇÑ ¼ºñ½º ½Å·Ú¼º Çâ»ó¿¡ µµ¿òÀÌ µÇ°í ÀÖ´Ù.¡±°í µ¡ºÙ¿´´Ù. ²ÙÁØÇÑ ½ÅÁ¦Ç° °³¹ß ÅëÇÑ ´Ù¾çÇÑ Laser Solution °ø±Þ ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾Æ´Â ÇöÀç ±¹³» ½ÃÀå º¯È¿¡ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´Ù¾çÇÑ ·¹ÀÌÀú ¼Ò½º °³¹ß°ú °ø±Þ¿¡ ÁÖ·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù. ºÐ¾ßµµ Excimer Laser¿Í CO2 Laser, DPSS Laser µîÀ» ºñ·ÔÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë ±â¼ú·Î ¹ßÀüÀ» °ÅµìÇÏ°í ÀÖ´Â Fiber Laser±îÁö ´Ù¾çÇÑ ·¹ÀÌÀú ¼Ò½º¸¦ ±¹³» ½ÃÀå¿¡ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â ÇÇÄÚÃÊ ·¹ÀÌÀúÀÇ Lumera»ç¿Í ³ª³ëÃÊ ·¹ÀÌÀúÀÇ Innolight»ç¸¦ ÀμöÇÕº´ÇÏ¸é¼ ´õ¿í ´Ù¾çÇÑ ·¹ÀÌÀú¸¦ ±¹³» ½ÃÀå¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÄÚÈ÷·±Æ®°¡ Á¦°øÇÏ´Â ±¤¹üÀ§ÇÑ Á¦Ç° °¡¿îµ¥ ÃÖ±Ù ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Â Á¦Ç°Àº »ê¾÷¿ë UV Fiber Laser(Daytona 355-20)¿Í »ê¾÷¿ë ÇÇÄÚÃÊ ·¹ÀÌÀú(RAPID Series) µîÀÌ´Ù. ÀÌ¿Ü¿¡µµ Àý´Ü ¹× ¿ëÁ¢¿ë Fiber Laser(Highlight FL Series)´Â 1KW±Þ °íÃâ·ÂÀ» ½ÇÇöÇÑ Á¦Ç°À¸·Î ÁÖ·Î ¿Ã³¸®(Heat Treatment) ¹× Ŭ·¡µù(Cladding)¿¡ È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. »ê¾÷¿ë UV Fiber Laser(Daytona 355-20)´Â Short ÆÞ½º ·¹ÀÌÀú¿¡ ÀÇÇÑ Á¤¹ÐÇÑ °¡°ø¼º°ú Q ½ºÀ§Ä¡ °íü ·¹ÀÌÀú¿¡ ÀÇÇÑ High ThroughputÀ» °âºñÇÑ »ê¾÷¿ë UV ÆÄÀ̹ö ·¹ÀÌÀú·Î UV ÆÄÀå(355nm) ¹ßÁø½Ã Æò±ÕÃâ·Â 20W¸¦ ¹Ýº¹ÁÖÆļö 1MHz, ÆÞ½ºÆø 1ns·Î ´Þ¼ºÇÑ´Ù. Á¤¹Ð ¹Ì¼¼°¡°ø¿¡ °¡Àå ÀûÇÕÇÑ TEM00(M2<1.3)ÀÇ ºö Ç°ÁúÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, °¢°¢ÀÇ ¾îÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ¼ö¿ä¿¡ ¸Â°Ô ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô Á¶Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Ç÷§ÆûÀÌ ¸Å¿ì À¯¿¬ÇÏ°Ô ¼³°èµÇ¾î ÀÖ´Ù. High ThroughputÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ Ã뼺(Brittle) Àç·áÀÇ °íÁ¤¹Ð ¹Ì¼¼°¡°ø¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î ¿þÀÌÆÛ(ƯÈ÷ Low-k¸· µî)ÀÇ ´ÙÀ̽Ì, ½ºÅ©¶óÀ̺ùÀ» ºñ·ÔÇÑ µå¸±¸µ, ¶Ç´Â ÅÍÄ¡ ÆгÎÀ̳ª LDC µî¿¡ »ç¿ëµÇ´Â À¯¸®ÀÇ ½ºÅ©¶óÀ̺ù ¿Ü¿¡ ÅÍÄ¡ ÆгÎÀÇ ÆÐÅÍ´×, žçÀüÁö Á¦Á¶½Ã¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¹Ú¸·ÀÇ ½ºÅ©¶óÀ̺ù µîÀÇ ¿ëµµ¿¡µµ ÃÖÀûÀÇ Àû¿ë¼ºÀ» °®Ãß°í ÀÖ´Ù. °í¹Ýº¹, °íÃâ·Â »ê¾÷¿ë °íü ÇÇÄÚÃÊ ¹ßÁø ·¹ÀÌÀú ¡®RAPID Series¡¯´Â ÇÇÄÚÃÊ ÆÞ½º ±¤Ãâ·Â¡¤¹ßÁøÁÖÆļö¸¦ Á¦¾îÇÔÀ¸·Î½á ÃÖÀûÀÇ Á¶°Ç¿¡¼ ´Ù¾çÇÑ ÇüÅÂÀÇ ¹Ì¼¼°¡°øÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ´Â LD ¿©±â Modelock Nd:YVO4 ·¹ÀÌÀú(1064nm)À̸ç, ´Ù´Ü ÁõÆø±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© °íÃâ·ÂÀ» Á¦°øÇÑ´Ù. ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾Æ´Â 7¿ù 10ÀÏ ¼¿ï ÄÚ¿¢½º¿¡¼ °³ÃֵǴ 'Laser Korea 2013'¿¡ Âü°¡(C-9)ÇÏ¿© »õ·Ó°Ô °³¹ßµÈ ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°À» ¼±º¸ÀÏ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÄÚÈ÷·±Æ®ÄÚ¸®¾Æ(À¯) Te. 02-460-7900 www.coherent.co.kr
|