스크린 세미컨덕터 솔루션즈, 레이저 열처리 기술 강화
스크린 세미컨덕터 솔루션즈(SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. 이하 스크린)와 CEA테크(CEA Tech) 산하 연구소인 레티(Leti)는 구랍 1일 자외선 레이저 열처리 기술에 대한 협력강화 방안을 발표했다.
스크린은 우선 레티에 나노세컨드 자외선(UV) 레이저 열처리 LT-3100 시스템을 설치하고 스크린의 프랑스 자회사인 유럽 레이저 시스템과 솔루션(LASSE)이 지원키로 했다. 이 레이저 툴은 2017년 상반기에 완전 가동 상태에 이르러 레티 실험실의 다양한 요구에 부합하는 다양한 웨이퍼 사이즈 요구 조건을 지원할 것으로 예상된다.
레티의 마리 세메리아(Marie Semeria) 최고경영자는 “레티의 최첨단, 전산업화 장비 인프라에 스크린의 나노세컨드 자외선 레이저 열처리 툴을 도입하여 현장에서 현재와 미래 기술을 혁신할 기회를 만들고자 한다”고 말했다. 또한 “실리콘 온 인슐레이터(SOI), CoolCubeTM, 나노선 기술개발로 인해, 새로운 재료 특성을 개발하고 최소한의 열충격으로 초박막 필름 수정을 이뤄내기가 점점 어려워지고 있다”면서 “LT-3100 시스템을 통해 기술 개발을 위한 솔루션을 찾아내어 이 산업 부문의 실질적인 발전을 이뤄낼 수 있기를 기대한다”고 밝혔다.
스크린 세미컨덕터 솔루션즈의 스하라 다다히로(Tadahiro Suhara) 사장은 “오래 전부터 레티와 공동 개발을 통해 성공적인 성과를 거둬온 만큼, 이번에 우리 회사의 레이저 기술을 레티의 생태계에 접목시켜 ‘모어 댄 무어(More than Moore)’, 사물인터넷, 미래의 혁신 기술 요구를 지원할 수 있게 되어 대단히 기쁘다”며 “협력 활동 외에도 우리는 레티의 최첨단 인프라를 이용하여 우리 회사의 LASSE 유럽 데모 연구소가 고객들에게 탁월한 인프라 능력을 보여줄 수 있도록 할 예정이다”고 말했다.
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