ȸ¿øµî·Ï £ü ºñ¹øºÐ½Ç
·¹ÀÌÀú±â¼ú



 New Technology
½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° HOME > ·¹ÀÌÀú±â¼ú > ½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç°

¤ýÀÛ¼ºÀÚ °ü¸®ÀÚ
¤ýÀÛ¼ºÀÏ 2020-12-02 (¼ö) 18:07
¤ý÷ºÎ#1 b7b9c0ccc0fa.jpg (121KB) (Down:0)
¤ýÃßõ: 0  ¤ýÁ¶È¸: 846      
·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °íÇØ»óµµ, °¡º¯Çü »ö»ó ±¸Çö

·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °íÇØ»óµµ, °¡º¯Çü »ö»ó ±¸Çö
¸ÂÃãÇü ±¤ÀüÀÚ ÀåÄ¡ Á¦ÀÛ ±â¹Ý ¸¶·Ã

·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ±Ý¼Ó±âÆÇ¿¡ »êȭöÀ» 80nm ³ôÀÌ¿¡¼­ 200nm ³ôÀ̱îÁö ÀÚÀ¯ÀÚÀç·Î ¼ºÀå, ´Ù¾çÇÑ ±¸Á¶»öÀ» Ç¥ÇöÇÏ´Â ±â¼úÀÌ °³¹ßµÆ´Ù.
Çѱ¹¿¬±¸Àç´ÜÀº ÇѾç´ëÇб³ È«¼®ÁØ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀ µî ±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ ·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ »êȭö ¹Ú¸·ÀÇ ¼±ÅÃÀû ¼ºÀåÀ» ÅëÇØ ±Ý¼Ó ±âÆÇ »ó¿¡ ´Ù¾çÇÑ ±¸Á¶»öÀ» ±¸ÇöÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
¹°Ã¼°¡ Áö´Ñ °íÀ¯»öÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¹°Ã¼ÀÇ ±âÇÏÇÐÀû ±¸Á¶¿¡ µû¸¥ ºûÀÇ È¸ÀýÀ̳ª °£¼· µîÀ¸·Î ³ªÅ¸³ª´Â ±¸Á¶»öÀº ´Ù¾çÇÑ »öÀÇ ¿°·á ¾øÀÌ ±¸Á¶¸¸À¸·Î ´Ùä·Î¿î »öÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ƯÈ÷ ±¤ÀüÀÚ ºÐ¾ß¿¡¼­ ¿¬±¸°¡ È°¹ßÇÏ´Ù. Ç¥¸éÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ È¨À» ¸¸³­ ºûÀÌ °¢±â ´Ù¸¥ °¢µµ·Î ²ª¿© ¿©·¯ ÆÄÀåÀÇ ºûÀ¸·Î ºÐ»êµÇ¸é¼­ ³ªÅ¸³ª´Â CD µÞ¸éÀÇ ¹«Áö°³»öÀÌ ±¸Á¶»öÀÇ ´ëÇ¥ÀûÀÌ´Ù.
±âÁ¸¿¡´Â Áø°ø¿¡¼­ ¹°Áú Ç¥¸é¿¡ ºöÀ̳ª °¡½º¸¦ Á¶»çÇÏ¿© ÁõÂø, ±âÇÏÇÐÀû ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ Çü¼ºÇϰųª ¹Ì¼¼±¸Á¶ Ç¥¸é ³ôÀ̸¦ Á¶ÀýÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ±¸Á¶»öÀ» ±¸ÇöÇÏ·Á´Â ½Ãµµ°¡ ÀÖ¾ú´Ù. ÇÏÁö¸¸ Áø°ø¿¡¼­ ÁøÇàµÇ´Â ÁõÂø°øÁ¤Àº º¹ÀâÇÏ°í ºñ¿ëÀÌ ¸¹ÀÌ µå´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ¾ú´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ¿ë¾×(¿°È­Ã¶, Áú»ê³ªÆ®·ý µî) ¼Ó¿¡ µç ¹é±Ý±âÆÇ¿¡ ¿¬¼ÓÆÄ ·¹ÀÌÀú¸¦ Á¶»ç, ±âÆÇ Ç¥¸é¿¡ »êȭöÀ» ¼ºÀå½ÃÄ×´Ù. ·¹ÀÌÀúÀÇ ¿¡³ÊÁö, ³ëÃâ½Ã°£ µîÀ» Á¶ÀýÇÏ¿© »êȭö ³ôÀ̸¦ ´Þ¸® ¼ºÀå½ÃÄÑ, »êȭö¿¡ ´ê´Â ºûÀÇ °£¼·Çö»óÀ¸·Î ´Ù¾çÇÑ »öÀ» ±¸Çö ÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù.
Ç¥¸é¿¡ º¸ÀÌ´Â ±¸Á¶»öÀº ºûÀÇ Èí¼ö ¹× ¹Ý»ç¿Í °ü·ÃµÇ±â¿¡ ±¤Àü¼ÒÀÚ È¿À² Çâ»ó¿¡ ÀÌ¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ±âÁ¸ ÁõÂø°øÁ¤ ±â¹Ý ±¤ÀüÀÚ ÀåÄ¡¿¡¼­ÀÇ »ö»ó±¸ÇöÀ» º¸´Ù °£¼ÒÈ­ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ç¸¶¸®¸¦ Á¦½ÃÇß´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù.
ÇÑÆí °úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎ¿Í Çѱ¹¿¬±¸Àç´ÜÀÌ ÃßÁøÇÏ´Â Áß°ß¿¬±¸Áö¿ø»ç¾÷ ¹× ½ÅÁø¿¬±¸Áö¿ø»ç¾÷ µîÀÇ Áö¿øÀ¸·Î ¼öÇàµÈ À̹ø ¿¬±¸¼º°ú´Â ±¹Á¦ÇмúÁö ¡®¾îµå¹ê½ºµå Æã¼Å³Î ¸ÓƼ¸®¾ó½º(Advanced Functional Materials)¡¯¿¡ 9¿ù 28ÀÏ °ÔÀçµÇ¾ú´Ù.
www.nrf.re.kr
   
  0
3500
 
¹øÈ£     ±Û Á¦ ¸ñ  ÀÛ¼ºÀÚ ÀÛ¼ºÀÏ Á¶È¸
97 ÇÑÈ­½Ã½ºÅÛ, ¿­È­»ó Ä«¸Þ¶ó Áö´ÉÇü ¸ðµâ ¡®ÄöÅÒ·¹µå¡¯ Ãâ½Ã °ü¸®ÀÚ 2021-03-03 884
96 À߸ø ¸¸µé¾îµµ ·¹ÀÌÀú°¡ µÇ´Â ´õ ÀÛÀº ³ª³ë·¹ÀÌÀú °³¹ß °ü¸®ÀÚ 2021-01-08 1085
95 ±â°¡Æ÷Åæ, ÃֽŠ¸ðµ¨ KrF ±¤¿ø ¡®G60K¡¯ ÃâÇÏ °ü¸®ÀÚ 2020-12-02 1153
94 ·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °íÇØ»óµµ, °¡º¯Çü »ö»ó ±¸Çö °ü¸®ÀÚ 2020-12-02 846
93 ¿ÀÅä´Ð½º, ¹æÀ¯Çü Æ÷Åä¼¾¼­ BJR-F °ü¸®ÀÚ 2020-09-02 1102
92 µ¿¿ø, Çöó½ºÆ½ ¿ë±â ¾ø¾Ø ¡®¾ç¹Ý±è ÆÐÅ°Áö¡¯ Ãâ½Ã °ü¸®ÀÚ 2020-09-02 979
91 KLA, ÀüÀÚºö °áÇÔ°Ë»ç½Ã½ºÅÛ ¡®eSL10¡¯ °³¹ß °ü¸®ÀÚ 2020-08-14 934
90 ±â°¡Æ÷Åæ, 2020³â ½ÅÇü ·¹ÀÌÀú µµÀÔ °ü¸®ÀÚ 2020-03-03 1129
89 ¢ß¿¡µå¸óµå ¿Éƽ½º ÄÚ¸®¾Æ, ·¹ÀÌÀú ¿Éƽ½º ¸®¼Ò½º °¡À̵å(¿¬Àç) °ü¸®ÀÚ 2019-12-03 1412
88 Æ®¶óÀÌ·ç¹Ì³ª, ÃʼÒÇü VCSEL ¾î·¹ÀÌ Ãâ½Ã °ü¸®ÀÚ 2019-07-04 1202
87 ¿ÀÅä´Ð½º, °í°´ ¸ÂÃãÇü Á¾ÇÕ ¼Ö·ç¼Ç °­È­ °ü¸®ÀÚ 2019-04-03 1524
86 ±â°¡Æ÷Åæ, ¼¼°è ÃÖ´ë Ãâ·Â ¡®KrF ·¹ÀÌÀú G45K¡¯ Ãâ½Ã °ü¸®ÀÚ 2019-03-04 1193
85 ¿ÀÅä´Ð½º, ÆÄÀ̹ö·¹ÀÌÀú ALF-3D ½Ã¸®Áî Ãâ½Ã °ü¸®ÀÚ 2019-03-04 1530
84 ¿ÀÅä´Ð½º, UV·¹ÀÌÀú ¸¶Å·±â ¡®ALU ½Ã¸®Á Ãâ½Ã °ü¸®ÀÚ 2019-02-11 1353
83 ¿¡µå¸óµå, °íÇØ»óµµ ´Ù¸ñÀû ·»Áî Ãâ½Ã °ü¸®ÀÚ 2018-11-06 1247
82 Artesyn, 3000W Àü¿ø °ø±Þ ÀåÄ¡ ¹ßÇ¥ °ü¸®ÀÚ 2018-09-11 1336
1234567

(ÁÖ)Çѱ¹»ê¾÷Á¤º¸¼¾ÅÍ
TEL:02-868-0211 / FAX:02-868-0860 / Email:dienmold@dienmold.com