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작성자 관리자
작성일 2020-03-03 (화) 18:01
ㆍ추천: 0  ㆍ조회: 201      
기가포톤, 2020년 신형 레이저 도입
테크놀로지 시프트 가속 신기술 탑재
반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤(주)이 최신 반도체 제조 리소그래피용 광원인 ArF 액침용 레이저 ‘GT66A’와 KrF 레이저 ‘G60K’의 2기종을 신제품으로 출시했다.
최근 IoT 보급과 AI의 실용화로 반도체 용도가 확대됨에 따라 반도체 칩에는 통신 속도의 고속화와 더 많은 양의 데이터 처리가 요구되고 있다. 특히 2020년에는 5G(제5세대 이동 통신)의 일반용 서비스가 확대되고 서브10 회로 선폭으로 소형·고속·저소비 전력의 논리 IC 및 폭발적으로 증가하는 데이터를 저장할 대용량 메모리 칩이 필요하게 된다.
신형 ArF 액침용 레이저 ‘GT66A’는 새로 개발된 광학 모듈을 탑재하여 공간적인 코히런스(Coherence)를 저감하여 노광면에서의 빔 균일성을 개선했다. 신형 KrF용 레이저 ‘G60K’는 약 15년만에 풀 모델 체인지가 이루어지고 신형 전원 유닛을 도입하여 기존 대비 1.5배의 출력이 가능하다.
기가포톤 CEO인 우라나카 카츠미는 “IoT를 도입한 산업 기기와 가전 제품의 보급, 나아가서는 AI와 5G가 가세하여 공장, 의료, 자동차, 사회 인프라 등의 다양한 장면에서 실시간화와 스마트화가 동시에 진행되고 있다”며 “우리는 신기술을 탑재한 신제품 라인업으로 차세대 산업계 발전에 공헌해 나가겠다”고 말했다.
www.gigaphoton.com
   
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