±â°¡Æ÷Åæ, EUV ÆÄÀÏ·µ ±¤¿øÀ¸·Î ¹ß±¤È¿À² 5%ÀÇ ¼¼°è±â·Ï ¼ö¸³
¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±¤¿øÀÇ ÁÖ¿ä Á¦Á¶¾÷üÀÎ ±â°¡Æ÷Åæ(Gigaphoton)´Â Áö³ 10¿ù 21ÀÏ ÇöÀç °³¹ß ÁßÀÎ EUV ½ºÄ³³Ê¿ë ·¹ÀÌÀú »ý¼º ÇöóÁ(LPP) ±¤¿øÀÇ ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê ¶óÀο¡¼ÀÇ °¡µ¿À» ½ÃÀÛÇÑ ÆÄÀÏ·µ ±¤¿øÀÌ ¿Ï¼ºµÇ¾î 95%ÀÇ °íÈ¿À², Æò±ÕÃâ·Â 100WÀÇ ¾ÈÁ¤¿îÀüÀ» ÅëÇØ ¼¼°èÃÖ°í¼öÁØÀÎ ¹ß±¤È¿À² 5%¸¦ ½ÇÇöÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù. ±â°¡Æ÷ÅæÀº Áö±Ý±îÁö 20¥ìm ÀÌÇÏÀÇ ±Ø¼Ò µå·Ó·¿ °ø±Þ ±â¼ú, °íü ·¹ÀÌÀú¸¦ »ç¿ëÇÑ °³·®Çü ÇÁ¸®ÆÞ½º, »õ·ÎÀÌ µµÀÔÇÑ ¹Ì¾²ºñ½ÃÀü±âÀÇ °íÁÖÆÄ ¹æÀü¿©±â½Ä 3Ãà Á÷±³Çü CO2 ·¹ÀÌÀú ÁõÆø±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °í±¤Ç°À§ ¸ÞÀÎ ÆÞ½ººöÀÇ Á¶ÇÕ, ¿¡³ÊÁö Á¦¾î ±â¼ú °³¼±, ±â°¡Æ÷ÅæÀÇ µ¶ÀÚ±â¼úÀÎ ÀÚ±âÀåÀ» »ç¿ëÇÑ µ¥ºê¸® Á¦°Å ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. Áö³ 7¿ù¿¡´Â ÇÁ·ÎÅäŸÀÔ ±â±â¿¡¼ 130W ÀÌ»óÀÇ ¿¬¼Ó¿îÀüÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù. À̹ø ÆÄÀÏ·µ ±¤¿øÀº EUV ½ºÄ³³Ê¿¡ µµÀÔÇÏ´Â °ÍÀ» ÀüÁ¦·Î ¼³°èµÈ ½Ã½ºÅÛ¿¡ À§ÀÇ ½Å±â¼úµéÀ» Àû¿ëÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÇÁ·ÎÅäŸÀÔ ±¤¿øº¸´Ù ÈξÀ ´õ ³ôÀº µàƼºñ(¿îÀü½Ã°£¿¡ ´ëÇÑ ¹ß±¤±â°£ÀÇ ºñÀ²) 95%, Ãâ·Â 105WÀÇ ¾ÈÁ¤¿îÀü, ¹ß±¤È¿À² 5%¿¡ ¼º°øÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ°ÍÀº ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀÇ Ã³¸®·®À» °áÁ¤ÇÏ´Â Æò±ÕÃâ·ÂÀ¸·Î 100W¿¡ »ó´çÇϸç, Çö½ÃÁ¡¿¡¼ »ç¿ëÀÚÀÇ ¿ä±¸¸¦ ¶Ù¾î³ÑÀº ¼º´ÉÀ̶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿îÀü ½ÇÁõ¿¡ ¼º°øÇÑ °ÍÀº ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¶óÀÎ ½ÇÇö¿¡ ¼ºÅ ´Ù°¡¼¹´Ù´Â Áõ°ÅÀÏ °ÍÀÌ´Ù. ±â°¡Æ÷Åæ ´ëÇ¥ÀÌ»ç ºÎ»çÀå °â CTOÀÎ ¹ÌÁ¶±¸Ä¡ ÇÏÄ«·ç ¾¾´Â ¡°ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê ¶óÀο¡¼ÀÇ °¡µ¿À» »óÁ¤ÇÑ ÆÄÀÏ·µ ±¤¿øÀÌ´Ù. 95%ÀÇ °íÈ¿À²°ú Æò±ÕÃâ·Â 100WÀÇ ¾ÈÁ¤ ¿îÀüÀ» ÅëÇØ ¼¼°è ÃÖ°í¼öÁØÀÎ 5%ÀÇ ¹ß±¤È¿À²À» ½ÇÇöÇÔÀ¸·Î½á °íÃâ·Â°ú Àú·ÅÇÑ ¿î¿µºñ·Î ¾ÈÁ¤°¡µ¿ÀÌ °¡´ÉÇÑ EUV ±¤¿øÀÇ ½ÃÀåµµÀÔÀÌ ¸ÓÁö ¾Ê¾ÒÀ½À» ¸»ÇØÁØ´Ù. ±â°¡Æ÷ÅæÀÇ ÀÌ·¯ÇÑ °íµµÀÇ ±â¼ú·Â°ú ¾ç»êÀ» À§ÇÑ °³¹ß ³ë·ÂÀº Â÷¼¼´ë ³ë±¤ ±â¼ú·Î½áÀÇ EUV ½ºÄ³³Ê °³¹ßÀ» °¡¼ÓȽÃÅ°´Â °ÍÀº ¹°·Ð ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÔÀ¸·Î½á IoT »çȸ ½ÇÇö¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î È®½ÅÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. www.gigaphoton.com
|