기가포톤, ArF 액침 레이저 위한 무헬륨 퍼지 프로세스 개발
세계 유수 리소그래피 광원 제조사인 기가포톤(Gigaphoton Inc.)은 자사의 주력 제품인 ArF 액침 레이저 ‘GT시리즈’(GT Series)에 희귀 가스인 헬륨을 사용하지 않는 혁신적인 퍼지 공정(purge process) 개발에 성공했다고 밝혔다. 기가포톤의 첨단 환경 기술인 ‘그린 이노베이션’(Green Innovations)을 진화시킨 이 혁신적인 무헬륨 퍼지 공정은 리소그래피 장치의 헬륨 사용량을 현저히 줄여준다. 기가포톤은 2000년 회사 설립 이래 업계 최고 수준의 출력과 성능, 안정성을 구현하는 데 주력해 왔다. 또한 전력 소비를 줄여 친환경 ‘그린 팹’(green fab) 공장을 실현하기 위한 고효율을 구현하는 데 힘을 기울였다. 최근 헬륨 가스의 불안정한 공급과 가격 상승은 기가포톤이 유수 디바이스 및 스캐너 제조사와 팀을 이뤄 헬륨을 사용하지 않는 퍼지 공정 개발에 나서는 시발점이 됐다. 일본 내 디바이스 제조사에서 공정 성능 평가를 마친 결과 양산에서도 혁신적인 퍼지 공정을 이용할 수 있음이 입증됐다. 헬륨은 대기 중 미량(5.2ppm)만이 존재하는 희귀가스다. 헬륨은 주로 천연가스 채굴 과정에서 부산물로 얻어진다. 헬륨은 의료장비, 리니어 모터 자동차, 반도체 등 다양한 산업계에서 사용되고 있으며 현대의 삶에서 없어서는 안 될 자원이다. 하지만 제조 과정에서 헬륨 사용량이 급증하면서 현재 속도라면 헬륨 공급은 약 25년 안에 고갈될 것으로 전망된다. 따라서 헬륨 공급 불안정과 가격 상승은 오늘날 심각한 문제로 대두되고 있다. 기가포톤은 이 문제가 전체 산업계에 부정적인 영향을 미칠 수 있음을 인식하고 있다. 이 회사는 퍼지 공정의 헬륨 사용을 줄임으로써 헬륨을 보다 절실하게 필요로 하는 다른 산업계에 헬륨 공급을 늘려 전체 산업계에 기여하고자 가능한 빨리 헬륨을 대체할 가스를 사용할 방법을 모색해 왔다. 헬륨은 레이저 광원에서 광학 부품용 모듈 퍼지 가스로 사용된다. 이는 모듈에서 발생하는 활성가스는 불순물을 제거해 광학 부품의 손상을 방지해준다. 레이저 한 대 당 연간 약 80~160㎘의 헬륨을 사용한다. 현재 전 세계에서 가동되는 모든 레이저 광원의 연간 헬륨 사용량이 약 10만㎘에 달한다는 의미다. 기가포톤은 헬륨 대신 세계 최초로 질소를 사용하는 퍼지 공정을 개발했다. 질소는 대기의 약 78%를 차지하는 불활성 가스로 안정적 공급이 가능하다. 또한 이 공정은 헬륨을 사용할 때와 동일한 수준의 레이저 성능을 구현함이 입증됐다. 토라무 히토시(Hitoshi Tomaru) 기가포톤 사장 겸 최고경영자(CEO)는 “우리는 반도체 제조를 지원하는 레이저 공급사로서 안정적인 생산 환경을 유지하고 전 세계 환경과 산업계를 위한 노력을 계속 해나갈 것이다”며 “앞으로도 에코포톤(EcoPhoton™) 프로그램을 꾸준히 추진하며 반도체 산업의 친환경화에 기여하고자 한다”고 말했다. www.gigaphoton.com
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