|
New Technology
½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
HOME > ·¹ÀÌÀú±â¼ú > ½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
|
|
¤ýÀÛ¼ºÀÚ |
°ü¸®ÀÚ
|
¤ýÀÛ¼ºÀÏ |
2014-09-05 (±Ý) 16:35 |
|
¤ýÃßõ: 0 ¤ýÁ¶È¸: 1782
|
|
|
±â°¡Æ÷Åæ, AfF ·¹ÀÌÀúÀÇ ³×¿Â °¡½º 50% ÁÙ¿©ÁÖ´Â ½Å±â´É °ø°³
¼¼°è ±¼ÁöÀÇ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±¤¿ø Á¦Á¶»çÀÎ ±â°¡Æ÷Åæ(Gigaphoton Inc.)Àº ÀÚ»çÀÇ ÁÖ·Â Á¦Ç°ÀÎ ArF ¾×ħ ·¹ÀÌÀúÀÇ °íÃâ·Â GT ½Ã¸®Á À§ÇÑ »õ·Î¿î ±â´É(eTGM)À» °ø°³Çß´Ù. eTGMÀº ³×¿Â °¡½º »ç¿ë·®À» ¾à 50%±îÁö ÁÙ¿©ÁÖ´Â ½Å±â¼ú·Î ±â°¡Æ÷ÅæÀÌ ¡®±×¸° À̳뺣À̼ǡ¯À» ½ÇÇöÇϱâ À§ÇØ ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Â ·Îµå¸Ê ¡®¿¡ÄÚÆ÷Å桯(EcoPhoton¢â)ÀÇ ÀϺÎÀÌ´Ù. ¿À´Ã³¯ ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ArF ¾×ħ ·¹ÀÌÀú´Â ·¹ÀÌÀú °¡½º·Î ³×¿Â, ºÒ¼Ò, ¾Æ¸£°ï °¡½º¸¦ »ç¿ëÇϸç, ÀÌ °¡¿îµ¥ ³×¿Â °¡½º´Â ·¹ÀÌÀú °¡½º È¥ÇÕ¹°ÀÇ 96% ÀÌ»óÀ» Â÷ÁöÇÑ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ArF ¾×ħ ·¹ÀÌÀú¸¦ °¡µ¿Çϱâ À§ÇØ »ó´ç·®ÀÇ ³×¿Â °¡½º°¡ »ç¿ëµÈ´Ù. ¹Ý¸é ¼¼°è ³×¿Â °¡½º »ý»ê·®Àº ÃÖ±Ù °¨¼Ò¼¼¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖÀ¸¸ç ÀÌ¿¡ µû¶ó ³×¿Â °¡°ÝÀÌ ¸ÓÀÝ¾Æ »ó½ÂÇØ Àüü ¾÷°è¿¡ Áß´ëÇÑ µµÀüÀ» ÃÊ·¡ÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù. eTGM ±â´ÉÀº ·¹ÀÌÀú °¡µ¿ »óȲÀ» ¸é¹ÐÈ÷ ¸ð´ÏÅÍÇÔÀ¸·Î½á ·¹ÀÌÀú °¡½º ÁÖÀÔ·®°ú ¹æÃâ·®À» ÃÖÀûÈÇØÁØ´Ù. ÀÌ ±â´ÉÀ» ·¹ÀÌÀú À¯´Ö¿¡ Àû¿ëÇÔÀ¸·Î½á ·¹ÀÌÀú ¼º´É ÀúÇÏ ¾øÀÌ ³×¿Â °¡½º »ç¿ë·®À» Àý¹Ý±îÁö ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. eTGM ±â´ÉÀº ±â°¡Æ÷ÅæÀÇ ArF ¾×ħ ·¹ÀÌÁ® ¿É¼ÇÀ¸·Î Á¦°øµÇ¸ç ÇöÀå¿¡¼ ±âÁ¸¿¡ »ç¿ë ÁßÀÎ ·¹ÀÌÀú¿¡µµ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ eTGM ±â´É°ú ÇÔ²² ¡®±×¸° ¸ð´ÏÅ͸µ¡¯ ±â´ÉÀÌ ·¹ÀÌÀú ÆеéÀ» À§ÇÑ ¾÷±×·¹À̵å·Î Á¦°øÀÌ µÈ´Ù. ÀÌ ¾÷±×·¹À̵å´Â »ý»êȯ°æ ÇÏ¿¡¼ »ç¿ëÀÚ°¡ ½Ç½Ã°£À¸·Î ·¹ÀÌÀú °¡½ºÀÇ ¼Òºñ·®À» ¸ð´ÏÅ͸µ ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇØÁØ´Ù.
Å丶·ç È÷Åä½Ã(Hitoshi Tomaru) ±â°¡Æ÷Åæ »çÀå °â ÃÖ°í°æ¿µÀÚ(CEO)´Â ¡°¿ì¸®ÀÇ ±×¸° À̳뺣À̼Ç(Green Innovations)À¸·Î »ý»êµÈ »õ·Î¿î Á¦Ç°À¸·Î¼ eTGMÀ» ½ÃÀå¿¡ Ãâ½ÃÇÏ°Ô µÈ °ÍÀ» ±â»Ú°Ô »ý°¢ÇÑ´Ù¡±¸ç ¡°ÀÌ ±â¼úÀÌ ¿ì¸®ÀÇ °í°´µéÀÌ ÃÖÀûÀÇ ¼öÁØ¿¡¼ °øÀåÀÇ °¡½º ºñ¿ëÀ» °ü¸®ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µµ¿ÍÁÖ°í, ±×·³À¸·Î½á ÀÌ·¯ÇÑ ºñÈ°¼º °¡½ºÀÇ ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ °ø±Þ¿¡ ÀÇÇÑ ³×¿Â °¡½º ºñ¿ë »ó½ÂÀÇ À§Çè¿¡ ´ëóÇÏ´Â È¿°úÀûÀÎ ¼ö´ÜÀ» Á¦°øÇÒ °ÍÀ¸·Î ¹Ï´Â´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. www.gigaphoton.com
|
|
|
¹øÈ£ |
|
±Û Á¦ ¸ñ |
ÀÛ¼ºÀÚ |
ÀÛ¼ºÀÏ |
Á¶È¸ |
65 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, EUV ÆÄÀÏ·µ ±¤¿øÀ¸·Î ¹ß±¤È¿À² 5%ÀÇ ¼¼°è±â·Ï ¼ö¸³
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-11-08
|
1307
|
|
64 |
|
Áö±¸¿Â³È À¯¹ß ºí·¢Ä«º», ·¹ÀÌÀú Á¤¹Ð ÃøÁ¤±â¼ú ±¹³» °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-10-07
|
1388
|
|
63 |
|
ÄÚÈ÷·±Æ®, °íÃâ·Â »ê¾÷¿ë ÇÇÄÚÃÊ ·¹ÀÌÀúÀÇ Â÷¼¼´ë ¸ðµ¨ HyperRap..
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-07-08
|
1541
|
|
62 |
|
´ëÇѱ¤Åë½Å, 300W±Þ ±¤¼¶À¯ ·¹ÀÌÀú Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-07-08
|
1655
|
|
61 |
|
´Ùºñµå ¸ð¼ÇÅ×Å©³î·¯Áö, ¹Ì´Ï·¹ÀÌÀúÁ¶°¢±â DL-320 Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-06-03
|
2027
|
|
60 |
|
Çǽ¬¸Ç ÄÚÆÛ·¹À̼Ç, ±¤¼¶À¯ ÀÚµ¿È 'º¥Ä¡Å¾ ·Îº¿' Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-04-05
|
1388
|
|
59 |
|
Æijª¼Ò´Ð, Áö¼ÓÆÄ 4.5W °íÃâ·Â ûÀÚ»ö ¹ÝµµÃ¼ ·¹ÀÌÀú °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-11-11
|
1968
|
|
58 |
|
Æ®¸®¾ÆºäƼ, ·¹ÀÌÀú Á¦¸ð±â ½ÅÁ¦Ç° Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-11-11
|
1627
|
|
57 |
|
Åõ½Ä½º ÄÚ¸®¾Æ, Laser Cutting Head
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-09-04
|
2493
|
|
56 |
|
¸ß½ºÇ÷η¯, ¼¼°èÃÖÃÊ ¼öºÐ»ê ±×·¡ÇÉ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-09-04
|
1783
|
|
55 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, ³×¿Â°¡½º °ø±ÞÀ§±â ±¸Á¶ ÇÁ·Î±×·¥ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-08-12
|
1763
|
|
54 |
|
°íÈ¿À² žçÀüÁö¸¦ °ª½Î°í ¼Õ½±°Ô ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â ±æ ¿·Á
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-07-11
|
1700
|
|
53 |
|
°Ç±¹´ë Á¤¼øö ±³¼öÆÀ, ·¹ÀÌÀú ºûÀ¸·Î ÃË°¨À¯¹ß ¿øõ±â¼ú °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-07-11
|
1672
|
|
52 |
|
´ºÆ÷Æ®, Çѱ¹½ÃÀå °ø·« À§ÇÑ ½ÅÁ¦Ç° ´ë°Å ¼Ò°³
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-01-09
|
2241
|
|
51 |
|
TANAKA, 3D ÇÁ¸°ÅÍ¿ë ¹é±Ý ºÐ¸» °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2014-12-11
|
2306
|
|
50 |
|
¿ÀÅä´Ð½º, ÃÖ´ë 20m °ËÃâ °¡´ÉÇÑ Æ÷Åä¼¾¼ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2014-12-11
|
2361
|
|
16
|
|