기가포톤, ArF 이머전 레이저용 신제품 출시
리소그래피 라이트 소스 제조업체인 기가포톤(Gigaphoton Inc.)은 최근 반도체 리소그래피 공정에 사용되는 자사의 ArF(argon Fluoride) 이머전 레이저용 ‘GT 시리즈’를 위한 전력절감기술을 개발 완료하고 신제품 ‘eGRYCOS’을 출시했다. ‘eGRYCOS(e-GIGAPHOTON Recycle Chamber Operation System: e- GIGAPHOTON 리사이클 체임버 운영 시스템)’은 레이저 효율을 향상시키는 한편 전력소모를 15%가량 줄여준다고 기가포톤측은 설명했다. 반도체산업은 다른 어떤 분야보다 빠르게 성장해왔으며 그 주요 동력은 제조장비의 지속적인 진화와 발달이었다. 첨단 리소그래피 애플리케이션에서 라이트 소스를 사용하기 때문에 ArF 이머전 레이저는 스캐너 강화를 지원하기 위해 전력 출력이 증가한다. 현재 대량생산 레이저는 60W 출력에서 구동되지만, 최신 제품은 120W 출력에서 구동된다. 업계의 수요가 더 높은 전력으로 바뀌어감에 따라 레이저에 소모되는 전력 또한 지속적으로 증가할 전망이다. 기가포톤은 에코포톤(EcoPhoton) 프로그램을 통해 이 문제에 대처해왔으며 고효율 레이저 체임버 디자인 개발에 주력해왔다. 레이저 체임버에서 두 전극간에 엑시머 개스가 흐른다. 흐름속도가 증가함에 따라, 방전이 안정화되고, 레이저 성능은 향상된다. 기가포톤이 재디자인한 체임버는 하이드로-다이내믹으로 최적화된 개스 플로 채널 모양으로, 개스 플로의 속도는 동일하게 하면서 동시에 전력 소비를 줄였다. 이밖에 새롭게 디자인된 선이온(pre-ionization) 공정은 주요 방전지역에서 이온의 동일한 분포를 가능하게 해 레이저 방전을 기존 제품 대비 1.2배 더 효율적으로 만들었다. 그 결과 eGRYCOS는 레이저 성능을 저하시키지 않고도 전력소모를 15% 줄일 수 있었다. 기가포톤의 히토시 토마루(Hitoshi Tomaru) 사장 겸 최고경영자는 “기가포톤은 환경인지적인 ‘그린 팹’ 지원을 위한 그린 혁신에 계속 중점을 둘 것”이라며 “eGRYCOS 제품은 에코포톤 프로그램의 성공사례다. 우리는 글로벌 고객들에게 혁신적인 기술을 계속 제공할 것이다”고 말했다. 또한 “이는 오늘날 첨단 리소그래피 애플리케이션 수요에 맞는, 낮은 에너지 소모와 높은 레이저 성능을 가능케 한 것이다”고 강조했다. www.gigaphoton.com
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