기가포톤, AfF 레이저의 네온 가스 50% 줄여주는 신기능 공개
세계 굴지의 리소그래피 광원 제조사인 기가포톤(Gigaphoton Inc.)은 자사의 주력 제품인 ArF 액침 레이저의 고출력 GT 시리즈를 위한 새로운 기능(eTGM)을 공개했다. eTGM은 네온 가스 사용량을 약 50%까지 줄여주는 신기술로 기가포톤이 ‘그린 이노베이션’을 실현하기 위해 추진하고 있는 로드맵 ‘에코포톤’(EcoPhoton™)의 일부이다. 오늘날 첨단 반도체 공정에 사용되는 ArF 액침 레이저는 레이저 가스로 네온, 불소, 아르곤 가스를 사용하며, 이 가운데 네온 가스는 레이저 가스 혼합물의 96% 이상을 차지한다. 이에 따라 ArF 액침 레이저를 가동하기 위해 상당량의 네온 가스가 사용된다. 반면 세계 네온 가스 생산량은 최근 감소세를 보이고 있으며 이에 따라 네온 가격이 머잖아 상승해 전체 업계에 중대한 도전을 초래할 가능성이 높아지고 있다. eTGM 기능은 레이저 가동 상황을 면밀히 모니터함으로써 레이저 가스 주입량과 방출량을 최적화해준다. 이 기능을 레이저 유닛에 적용함으로써 레이저 성능 저하 없이 네온 가스 사용량을 절반까지 줄일 수 있다. eTGM 기능은 기가포톤의 ArF 액침 레이져 옵션으로 제공되며 현장에서 기존에 사용 중인 레이저에도 적용할 수 있다. 또한 eTGM 기능과 함께 ‘그린 모니터링’ 기능이 레이저 패들을 위한 업그레이드로 제공이 된다. 이 업그레이드는 생산환경 하에서 사용자가 실시간으로 레이저 가스의 소비량을 모니터링 할 수 있도록 해준다.
토마루 히토시(Hitoshi Tomaru) 기가포톤 사장 겸 최고경영자(CEO)는 “우리의 그린 이노베이션(Green Innovations)으로 생산된 새로운 제품으로서 eTGM을 시장에 출시하게 된 것을 기쁘게 생각한다”며 “이 기술이 우리의 고객들이 최적의 수준에서 공장의 가스 비용을 관리할 수 있도록 도와주고, 그럼으로써 이러한 비활성 가스의 불안정한 공급에 의한 네온 가스 비용 상승의 위험에 대처하는 효과적인 수단을 제공할 것으로 믿는다”고 말했다. www.gigaphoton.com
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