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2014-11-11 (È) 18:15 |
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±â°¡Æ÷Åæ, ArF À̸ÓÀü ·¹ÀÌÀú¿ë ½ÅÁ¦Ç° Ãâ½Ã
¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¶óÀÌÆ® ¼Ò½º Á¦Á¶¾÷üÀÎ ±â°¡Æ÷Åæ(Gigaphoton Inc.)Àº ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÀÚ»çÀÇ ArF(argon Fluoride) À̸ÓÀü ·¹ÀÌÀú¿ë ¡®GT ½Ã¸®Á¸¦ À§ÇÑ Àü·ÂÀý°¨±â¼úÀ» °³¹ß ¿Ï·áÇÏ°í ½ÅÁ¦Ç° ¡®eGRYCOS¡¯À» Ãâ½ÃÇß´Ù. ¡®eGRYCOS(e-GIGAPHOTON Recycle Chamber Operation System: e- GIGAPHOTON ¸®»çÀÌŬ üÀÓ¹ö ¿î¿µ ½Ã½ºÅÛ)¡¯Àº ·¹ÀÌÀú È¿À²À» Çâ»ó½ÃÅ°´Â ÇÑÆí Àü·Â¼Ò¸ð¸¦ 15%°¡·® ÁÙ¿©ÁØ´Ù°í ±â°¡Æ÷ÅæÃøÀº ¼³¸íÇß´Ù. ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Àº ´Ù¸¥ ¾î¶² ºÐ¾ßº¸´Ù ºü¸£°Ô ¼ºÀåÇØ¿ÔÀ¸¸ç ±× ÁÖ¿ä µ¿·ÂÀº Á¦Á¶ÀåºñÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ ÁøÈ¿Í ¹ß´ÞÀ̾ú´Ù. ÷´Ü ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡¼ ¶óÀÌÆ® ¼Ò½º¸¦ »ç¿ëÇϱ⠶§¹®¿¡ ArF À̸ÓÀü ·¹ÀÌÀú´Â ½ºÄ³³Ê °È¸¦ Áö¿øÇϱâ À§ÇØ Àü·Â Ãâ·ÂÀÌ Áõ°¡ÇÑ´Ù. ÇöÀç ´ë·®»ý»ê ·¹ÀÌÀú´Â 60W Ãâ·Â¿¡¼ ±¸µ¿µÇÁö¸¸, ÃֽŠÁ¦Ç°Àº 120W Ãâ·Â¿¡¼ ±¸µ¿µÈ´Ù. ¾÷°èÀÇ ¼ö¿ä°¡ ´õ ³ôÀº Àü·ÂÀ¸·Î ¹Ù²î¾î°¨¿¡ µû¶ó ·¹ÀÌÀú¿¡ ¼Ò¸ðµÇ´Â Àü·Â ¶ÇÇÑ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ±â°¡Æ÷ÅæÀº ¿¡ÄÚÆ÷Åæ(EcoPhoton) ÇÁ·Î±×·¥À» ÅëÇØ ÀÌ ¹®Á¦¿¡ ´ëóÇØ¿ÔÀ¸¸ç °íÈ¿À² ·¹ÀÌÀú üÀÓ¹ö µðÀÚÀÎ °³¹ß¿¡ ÁÖ·ÂÇØ¿Ô´Ù. ·¹ÀÌÀú üÀÓ¹ö¿¡¼ µÎ Àü±Ø°£¿¡ ¿¢½Ã¸Ó °³½º°¡ È帥´Ù. È帧¼Óµµ°¡ Áõ°¡ÇÔ¿¡ µû¶ó, ¹æÀüÀÌ ¾ÈÁ¤ÈµÇ°í, ·¹ÀÌÀú ¼º´ÉÀº Çâ»óµÈ´Ù. ±â°¡Æ÷ÅæÀÌ ÀçµðÀÚÀÎÇÑ Ã¼ÀÓ¹ö´Â ÇÏÀ̵å·Î-´ÙÀ̳»¹ÍÀ¸·Î ÃÖÀûÈµÈ °³½º Ç÷Πä³Î ¸ð¾çÀ¸·Î, °³½º Ç÷ÎÀÇ ¼Óµµ´Â µ¿ÀÏÇÏ°Ô ÇÏ¸é¼ µ¿½Ã¿¡ Àü·Â ¼Òºñ¸¦ ÁÙ¿´´Ù. À̹ۿ¡ »õ·Ó°Ô µðÀÚÀÎµÈ ¼±ÀÌ¿Â(pre-ionization) °øÁ¤Àº ÁÖ¿ä ¹æÀüÁö¿ª¿¡¼ ÀÌ¿ÂÀÇ µ¿ÀÏÇÑ ºÐÆ÷¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇØ ·¹ÀÌÀú ¹æÀüÀ» ±âÁ¸ Á¦Ç° ´ëºñ 1.2¹è ´õ È¿À²ÀûÀ¸·Î ¸¸µé¾ú´Ù. ±× °á°ú eGRYCOS´Â ·¹ÀÌÀú ¼º´ÉÀ» ÀúÇϽÃÅ°Áö ¾Ê°íµµ Àü·Â¼Ò¸ð¸¦ 15% ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ±â°¡Æ÷ÅæÀÇ È÷Åä½Ã Å丶·ç(Hitoshi Tomaru) »çÀå °â ÃÖ°í°æ¿µÀÚ´Â ¡°±â°¡Æ÷ÅæÀº ȯ°æÀÎÁöÀûÀÎ ¡®±×¸° ÆÕ¡¯ Áö¿øÀ» À§ÇÑ ±×¸° Çõ½Å¿¡ °è¼Ó ÁßÁ¡À» µÑ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°eGRYCOS Á¦Ç°Àº ¿¡ÄÚÆ÷Åæ ÇÁ·Î±×·¥ÀÇ ¼º°ø»ç·Ê´Ù. ¿ì¸®´Â ±Û·Î¹ú °í°´µé¿¡°Ô Çõ½ÅÀûÀÎ ±â¼úÀ» °è¼Ó Á¦°øÇÒ °ÍÀÌ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. ¶ÇÇÑ ¡°ÀÌ´Â ¿À´Ã³¯ ÷´Ü ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ¼ö¿ä¿¡ ¸Â´Â, ³·Àº ¿¡³ÊÁö ¼Ò¸ð¿Í ³ôÀº ·¹ÀÌÀú ¼º´ÉÀ» °¡´ÉÄÉ ÇÑ °ÍÀÌ´Ù¡±°í °Á¶Çß´Ù. www.gigaphoton.com
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±â°¡Æ÷Åæ, ArF À̸ÓÀü ·¹ÀÌÀú¿ë ½ÅÁ¦Ç° Ãâ½Ã
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2014-11-11
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1666
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KERI, Á÷Á¶¹° ±¸Á¶ À¯¿¬ žçÀüÁö ÃÖÃÊ °³¹ß
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2014-09-05
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1737
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47 |
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±â°¡Æ÷Åæ, AfF ·¹ÀÌÀúÀÇ ³×¿Â °¡½º 50% ÁÙ¿©ÁÖ´Â ½Å±â´É °ø°³
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2014-09-05
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1735
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À¯±â žçÀüÁö ´ë·®»ý»ê ¹× ¼ö¸í Çâ»ó ±â¼ú °³¹ß
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2014-08-06
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1779
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45 |
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±â°¡Æ÷Åæ, ArF ¾×ħ ·¹ÀÌÀú À§ÇÑ ¹«Çï·ý ÆÛÁö ÇÁ·Î¼¼½º °³¹ß
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2014-08-06
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1973
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¿¤ÅõÄÉÀÌÇ÷¯½º, »ê¾÷¿ë°ú ÀÇ·á¿ë ºÐ¾ß¿¡ ÃÖÀûÈµÈ ÆèÅäÃÊ ·¹ÀÌÀú..
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2014-06-30
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2376
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43 |
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¿ÀÅä´Ð½º, ÃʼÒÇü/Àå°Å¸®Çü ±ÙÁ¢¼¾¼ Ãâ½Ã
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2014-06-30
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1723
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42 |
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EO, »õ·Î¿î Beam Expanders ¼Ò°³
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2014-06-30
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1935
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EO, Laser Crystal ½ÅÁ¦Ç° Ãâ½Ã
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2014-05-01
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1901
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Edmund Optics, AR ÄÚÆà ¾øÀ̵µ ³ôÀº Åõ°ú¼ºÀ» Á¦°øÇÏ´Â À©µµ
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2014-03-07
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4237
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39 |
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À¯·ÎºñÁ¯, ·¹ÀÌÀú ºöÀ¸·ÎºÎÅÍ ´«À» ¾ÈÀüÇÏ°Ô º¸È£ÇÏ´Â ·¹ÀÌÀúº¸È£..
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2014-02-07
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1976
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38 |
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ºÎµµÃ¼¿¡ Àü·ù¸¦ È帣°Ô ÇÏ´Â ±â¼ú °³¹ß
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2014-01-08
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2133
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37 |
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¿ÀÅä´Ð½º, ¿øÁÖÇü Àå°Å¸® Æ÷Åä¼¾¼ BR ½Ã¸®Áî Ãâ½Ã
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°ü¸®ÀÚ |
2013-12-04
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1691
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36 |
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SPI Lasers, ÆÞ½º/Áß±ÞÃâ·Â/°íÃâ·Â ÆÄÀ̹ö ·¹ÀÌÀú ´ë°Å ¼Ò°³
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2013-10-04
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2747
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35 |
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¼ô ÆÞ½º Q-½ºÀ§Äª DPSS Laser, Wedge XF
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2013-10-04
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2694
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34 |
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ÆÄÀ̹ö ·¹ÀÌÀú ¿ëÁ¢ÀÇ ½ÃÀ强 ¹× ÀåÁ¡ / SPI Lasers
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2013-10-04
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2375
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16
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