사물인터넷(IoT)을 주제로 한 세미콘코리아 2015
반도체 공정기술의 새로운 혁신, 최신 기술, 그리고 미래를 엿볼 수 있는 국내 최대 규모의 반도체 재조기술전시회인 세미콘코리아 2015(SEMICON Korea 2015)가 지난 2월 4일부터 6일까지 3일 동안 서울 코엑스에서 개최됐다.
올해로 28회째를 맞이하는 세미콘코리아 2015는 국제반도체장비재료협회 주관으로 전 세계 반도체 장비재료산업을 선도하는 20개국 500개 업체가 1,800부스 규모로 출품, 마이크로전자 제조공정 솔루션을 비롯한 최신 공정기술, 장비, 재료 등을 선보이며 반도체산업의 현황과 전망을 제시했다.
세미콘코리아는 여타 전문 전시회와 뚜렷한 구별을 두고 있다. 단순히 신제품과 주력 제품을 소개하는 차원에서 벗어나 최신 제품 트랜드에 맞는 다양한 주제의 기술발표가 뒷밭침하고 있다. 올해 가장 핵심이 되는 관련 산업에 대해 삼성전자, 인텔, CISCO에서 3명의 연사가 기조연설을 진행한다. 삼성전자의 정은승 부사장이 ‘상생협력을 통한 반도체 기술의 한계 돌파’를 주제로 강연을 진행하며, 인텔의 웬한왕(Wen-Hann Wan) 부사장과 CISCO의 마첵 크란츠(Maciej Kranz) 부사장이 사물인터넷(IoT)를 큰 주제로 하여 각각 ‘Inventing a Better Future: Intelligence Everywhere’과 ‘Internet of Everything: Turning Vision into Reality’를 발표한다.
전시회에서는 또한 반도체 공정별 전문가가 단계별 공정 이슈와 최신 기술을 논하는 SEMI 기술심포지엄, 반도체업계의 국제경쟁력 강화에 필수적인 국제 표준을 소개하는 SEMI 표준 프로그램, 주요 해외소자업체가 참여하는 구매상담회, 글로벌 장비공급업체와 국내 부품업체 간의 신규 비즈니스 협력을 지원하는 OEM 해외장비업체 구매상담회, 업계 리더가 한 자리에 모이는 네트워킹 행사인 프레지던트 리셉션 등을 비롯한 다채로운 행사가 마련되어 반도체 관련 정보 제공의 장을 마련키도 했다.
전시 기간 중에는 LED 제조기술 전문 전시회인 LED코리아 2015가 동시 개최되었으며, 이틀에 걸쳐 개최된 LED 코리아 컨퍼런스는 스마트 LED 융합 애플리케이션을 주제로 산업 및 학계 전문가들의 발표가 이어졌다. 특히 서울대학교의 윤의준 교수는 ‘고체조명(SSL)의 발전과 도전과제(Progress and Challenges of Solid-State Lighting)’, 루멘스의 유태경 대표이사는 ‘디스플레이 및 조명 애플리케이션에 관한 LED 기술(LED Technology toward Display/Lighting Application)’을 주제로 기조연설을 진행했다.
레이저 관련 기업 10여개사 출품
 레이저 관련 기업들은 이번 전시회를 통해 반도체, LED 등의 제조 과정에서 마킹(Marking), 드릴링(Drilling), 엣칭(Etching) 등에 활용되는 다양한 종류의 레이저 소스와 장비를 소개했다.
세계 반도체 레이저 마킹 시장을 선도하고 있는 ㈜이오테크닉스는 전시회를 통해 반도체 제작 공정에서 활용되는 다양한 종류의 레이저 마킹 기술과 응용장비를 출품했다. 큐빅레이저시스템(주)도 다양한 종류의 레이저 소스와 광학 부품을, 예놉틱코리아는 광학 관련 부품 및 시스템을 각각 전시 소개했다.
레이저스펙트라는 낮은 가격과 높은 안정도를 갖춘 UV 레이저 Talon 시리즈를 전시 소개했다. 설계에서부터 가격 및 안정도를 고려하여 제작된 UV 레이저 Talon 시리즈는 레이저 헤드와 파워 서플라이를 통합하여 일체형으로 제작함으로써 원가를 줄이고 기구적인 장점을 높였다. 현재 355nm 파장의 6W, 12W 모델과 532nm 파장의 20W 모델이 출시되고 있다.
최근 국내 시장 강화에 나서고 있는 뉴포트(Newport)는 Hexapod(HXP50)와 Auto-Collimator(CONEX-LDS)를 전시 소개했다. Hexapod는 6개의 모터(Actuator)를 PVT(Position, Velocity, Time) 제어방식을 이용하여 직선(Straight Line)은 물론 아치모양의 호(Arc)나 어떠한 종류의 괘적(Trajectory)으로도 제어할 수 있다.
레이저 측정기 Auto-Collimator(CONEX-LDS)는 레이저 빔으로 대상물의 각도를 측정해 줄 수 있는 제품으로 분해능(최소 식별거리)이 0.01urad(0.57x10-6 degree)로 높다. 리니어스테이지(베어링)의 진직도, 수평도를 측정하거나 회전스테이지의 흔들림(Wobble)이나 편심(Eccentricity)을 측정하는데 유용하게 사용될 수 있다. 또한 구조물의 진동 영향, 스테이지(Stage)의 Settling Time, 광학부품의 정렬 등에 사용될 수도 있다.
www.semiconkorea.org
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