|
New Technology
½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
HOME > ·¹ÀÌÀú±â¼ú > ½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
|
|
¤ýÀÛ¼ºÀÚ |
°ü¸®ÀÚ
|
¤ýÀÛ¼ºÀÏ |
2014-08-06 (¼ö) 16:27 |
|
¤ýÃßõ: 0 ¤ýÁ¶È¸: 2020
|
|
|
±â°¡Æ÷Åæ, ArF ¾×ħ ·¹ÀÌÀú À§ÇÑ ¹«Çï·ý ÆÛÁö ÇÁ·Î¼¼½º °³¹ß
¼¼°è À¯¼ö ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±¤¿ø Á¦Á¶»çÀÎ ±â°¡Æ÷Åæ(Gigaphoton Inc.)Àº ÀÚ»çÀÇ ÁÖ·Â Á¦Ç°ÀÎ ArF ¾×ħ ·¹ÀÌÀú ¡®GT½Ã¸®Á(GT Series)¿¡ Èñ±Í °¡½ºÀÎ Çï·ýÀ» »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ÆÛÁö °øÁ¤(purge process) °³¹ß¿¡ ¼º°øÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. ±â°¡Æ÷ÅæÀÇ Ã·´Ü ȯ°æ ±â¼úÀÎ ¡®±×¸° À̳뺣À̼ǡ¯(Green Innovations)À» ÁøȽÃŲ ÀÌ Çõ½ÅÀûÀÎ ¹«Çï·ý ÆÛÁö °øÁ¤Àº ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÀåÄ¡ÀÇ Çï·ý »ç¿ë·®À» ÇöÀúÈ÷ ÁÙ¿©ÁØ´Ù. ±â°¡Æ÷ÅæÀº 2000³â ȸ»ç ¼³¸³ ÀÌ·¡ ¾÷°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ Ãâ·Â°ú ¼º´É, ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â µ¥ ÁÖ·ÂÇØ ¿Ô´Ù. ¶ÇÇÑ Àü·Â ¼Òºñ¸¦ ÁÙ¿© ģȯ°æ ¡®±×¸° ÆÕ¡¯(green fab) °øÀåÀ» ½ÇÇöÇϱâ À§ÇÑ °íÈ¿À²À» ±¸ÇöÇÏ´Â µ¥ ÈûÀ» ±â¿ï¿´´Ù. ÃÖ±Ù Çï·ý °¡½ºÀÇ ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ °ø±Þ°ú °¡°Ý »ó½ÂÀº ±â°¡Æ÷ÅæÀÌ À¯¼ö µð¹ÙÀ̽º ¹× ½ºÄ³³Ê Á¦Á¶»ç¿Í ÆÀÀ» ÀÌ·ï Çï·ýÀ» »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê´Â ÆÛÁö °øÁ¤ °³¹ß¿¡ ³ª¼´Â ½Ã¹ßÁ¡ÀÌ µÆ´Ù. ÀϺ» ³» µð¹ÙÀ̽º Á¦Á¶»ç¿¡¼ °øÁ¤ ¼º´É Æò°¡¸¦ ¸¶Ä£ °á°ú ¾ç»ê¿¡¼µµ Çõ½ÅÀûÀÎ ÆÛÁö °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ½ÀÌ ÀÔÁõµÆ´Ù. Çï·ýÀº ´ë±â Áß ¹Ì·®(5.2ppm)¸¸ÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â Èñ±Í°¡½º´Ù. Çï·ýÀº ÁַΠõ¿¬°¡½º ä±¼ °úÁ¤¿¡¼ ºÎ»ê¹°·Î ¾ò¾îÁø´Ù. Çï·ýÀº ÀÇ·áÀåºñ, ¸®´Ï¾î ¸ðÅÍ ÀÚµ¿Â÷, ¹ÝµµÃ¼ µî ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷°è¿¡¼ »ç¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç Çö´ëÀÇ »î¿¡¼ ¾ø¾î¼´Â ¾È µÉ ÀÚ¿øÀÌ´Ù. ÇÏÁö¸¸ Á¦Á¶ °úÁ¤¿¡¼ Çï·ý »ç¿ë·®ÀÌ ±ÞÁõÇÏ¸é¼ ÇöÀç ¼Óµµ¶ó¸é Çï·ý °ø±ÞÀº ¾à 25³â ¾È¿¡ °í°¥µÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. µû¶ó¼ Çï·ý °ø±Þ ºÒ¾ÈÁ¤°ú °¡°Ý »ó½ÂÀº ¿À´Ã³¯ ½É°¢ÇÑ ¹®Á¦·Î ´ëµÎµÇ°í ÀÖ´Ù. ±â°¡Æ÷ÅæÀº ÀÌ ¹®Á¦°¡ Àüü »ê¾÷°è¿¡ ºÎÁ¤ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ ¼ö ÀÖÀ½À» ÀνÄÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ È¸»ç´Â ÆÛÁö °øÁ¤ÀÇ Çï·ý »ç¿ëÀ» ÁÙÀÓÀ¸·Î½á Çï·ýÀ» º¸´Ù Àý½ÇÇÏ°Ô ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ´Ù¸¥ »ê¾÷°è¿¡ Çï·ý °ø±ÞÀ» ´Ã·Á Àüü »ê¾÷°è¿¡ ±â¿©ÇÏ°íÀÚ °¡´ÉÇÑ »¡¸® Çï·ýÀ» ´ëüÇÒ °¡½º¸¦ »ç¿ëÇÒ ¹æ¹ýÀ» ¸ð»öÇØ ¿Ô´Ù. Çï·ýÀº ·¹ÀÌÀú ±¤¿ø¿¡¼ ±¤ÇÐ ºÎÇ°¿ë ¸ðµâ ÆÛÁö °¡½º·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ÀÌ´Â ¸ðµâ¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â È°¼º°¡½º´Â ºÒ¼ø¹°À» Á¦°ÅÇØ ±¤ÇÐ ºÎÇ°ÀÇ ¼Õ»óÀ» ¹æÁöÇØÁØ´Ù. ·¹ÀÌÀú ÇÑ ´ë ´ç ¿¬°£ ¾à 80~160§¥ÀÇ Çï·ýÀ» »ç¿ëÇÑ´Ù. ÇöÀç Àü ¼¼°è¿¡¼ °¡µ¿µÇ´Â ¸ðµç ·¹ÀÌÀú ±¤¿øÀÇ ¿¬°£ Çï·ý »ç¿ë·®ÀÌ ¾à 10¸¸§¥¿¡ ´ÞÇÑ´Ù´Â Àǹ̴Ù. ±â°¡Æ÷ÅæÀº Çï·ý ´ë½Å ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î Áú¼Ò¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ÆÛÁö °øÁ¤À» °³¹ßÇß´Ù. Áú¼Ò´Â ´ë±âÀÇ ¾à 78%¸¦ Â÷ÁöÇÏ´Â ºÒÈ°¼º °¡½º·Î ¾ÈÁ¤Àû °ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ °øÁ¤Àº Çï·ýÀ» »ç¿ëÇÒ ¶§¿Í µ¿ÀÏÇÑ ¼öÁØÀÇ ·¹ÀÌÀú ¼º´ÉÀ» ±¸ÇöÇÔÀÌ ÀÔÁõµÆ´Ù. Åä¶ó¹« È÷Åä½Ã(Hitoshi Tomaru) ±â°¡Æ÷Åæ »çÀå °â ÃÖ°í°æ¿µÀÚ(CEO)´Â ¡°¿ì¸®´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¸¦ Áö¿øÇÏ´Â ·¹ÀÌÀú °ø±Þ»ç·Î¼ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ »ý»ê ȯ°æÀ» À¯ÁöÇÏ°í Àü ¼¼°è ȯ°æ°ú »ê¾÷°è¸¦ À§ÇÑ ³ë·ÂÀ» °è¼Ó Çسª°¥ °ÍÀÌ´Ù¡±¸ç ¡°¾ÕÀ¸·Îµµ ¿¡ÄÚÆ÷Åæ(EcoPhoton¢â) ÇÁ·Î±×·¥À» ²ÙÁØÈ÷ ÃßÁøÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Ä£È¯°æÈ¿¡ ±â¿©ÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. www.gigaphoton.com
|
|
|
¹øÈ£ |
|
±Û Á¦ ¸ñ |
ÀÛ¼ºÀÚ |
ÀÛ¼ºÀÏ |
Á¶È¸ |
65 |
|
KIST, ±×·¡ÇÉ ¹ÝµµÃ¼ »ó¿ëÈ ±â¼ú °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2013-04-04
|
2264
|
|
64 |
|
´ºÆ÷Æ®, Çѱ¹½ÃÀå °ø·« À§ÇÑ ½ÅÁ¦Ç° ´ë°Å ¼Ò°³
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-01-09
|
2248
|
|
63 |
|
ÈÖ¾îÁö´Â Åõ¸í À¯±âºÐÀÚ ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2013-07-10
|
2237
|
|
62 |
|
Áß±Þ Ãâ·Â ÆÄÀ̹ö ·¹ÀÌÀú¸¦ »ç¿ëÇÑ ·Îº¿ ÄÆÆà / SPI
|
°ü¸®ÀÚ |
2012-11-15
|
2228
|
|
61 |
|
ºÎµµÃ¼¿¡ Àü·ù¸¦ È帣°Ô ÇÏ´Â ±â¼ú °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2014-01-08
|
2180
|
|
60 |
|
±º»ê´ë ±èÁص¿ ±³¼öÆÀ, žçÀüÁöÀÇ ¼¼°è ÃÖ°í È¿À² ¹ßÇ¥
|
°ü¸®ÀÚ |
2013-06-11
|
2098
|
|
59 |
|
(ÁÖ)¿ÀÅä´Ð½º, Æ÷Åä ¸¶ÀÌÅ©·Î ¼¾¼ BS5 Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2012-03-15
|
2080
|
|
58 |
|
°íÈ¿À² °íºÐÀÚ ±¤ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2013-09-03
|
2069
|
|
57 |
|
ÈÇп¬, žçÀüÁö¿ë ³ª³ëÀÔÀÚ ¿øõ ¼ÒÀç °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2012-06-05
|
2043
|
|
56 |
|
´Ùºñµå ¸ð¼ÇÅ×Å©³î·¯Áö, ¹Ì´Ï·¹ÀÌÀúÁ¶°¢±â DL-320 Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-06-03
|
2042
|
|
55 |
|
À¯·ÎºñÁ¯, ·¹ÀÌÀú ºöÀ¸·ÎºÎÅÍ ´«À» ¾ÈÀüÇÏ°Ô º¸È£ÇÏ´Â ·¹ÀÌÀúº¸È£..
|
°ü¸®ÀÚ |
2014-02-07
|
2039
|
|
54 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, ArF ¾×ħ ·¹ÀÌÀú À§ÇÑ ¹«Çï·ý ÆÛÁö ÇÁ·Î¼¼½º °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2014-08-06
|
2020
|
|
53 |
|
EO, »õ·Î¿î Beam Expanders ¼Ò°³
|
°ü¸®ÀÚ |
2014-06-30
|
1990
|
|
52 |
|
KIST, ÁÖÇüƲ ¾øÀÌ ÀÚÀ¯·Ó°Ô Á¶¸³ °¡´ÉÇÑ ´ÙÂ÷¿ø ³ª³ë¹°Áú Á¦Á¶±â..
|
°ü¸®ÀÚ |
2013-05-01
|
1987
|
|
51 |
|
¿ÀÅä´Ð½º, Å©·Î½ººö BWC ½Ã¸®Áî
|
°ü¸®ÀÚ |
2013-05-01
|
1986
|
|
50 |
|
Æijª¼Ò´Ð, Áö¼ÓÆÄ 4.5W °íÃâ·Â ûÀÚ»ö ¹ÝµµÃ¼ ·¹ÀÌÀú °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-11-11
|
1985
|
|
16
|
|