회원등록 비번분실
레이저기술



 Laser
세계의 레이저 HOME > 레이저기술 > 세계의 레이저

작성자 관리자
작성일 2017-08-09 (수) 18:40
ㆍ추천: 0  ㆍ조회: 441      
기가포톤, EUV 파일럿 광원으로 가동률 80% 이상의 가능성 확인
기가포톤, EUV 파일럿 광원으로
가동률 80% 이상의 가능성 확인

반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤이 현재 개발중인 EUV 스캐너용 레이저 생성 플라즈마(LPP) 광원에 대해 최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 상정한 파일럿 광원주에서 양산 실현 레벨인 가동률(availability) 80% 이상의 가능성을 확인했다고 발표했다.
기가포톤은 올해 초, 현재 개발 검증 중인 EUV 파일럿 광원에서 모형 집광 미러를 탑재한 모의시험을 2주에 걸쳐 실시한 결과 가동률 64%라는 결과를 얻었다. 파일럿 광원의 자세한 동작 상황은 가동·대기시간 64%, 휴일·야간 등으로 인한 정지시간 25%, 기타 유지보수 등으로 인한 정지시간 11%였으며, 이는 휴일, 야간 등에도 정지하지 않고 가동시켰다고 가정하면 가동률 80% 이상과 동등하다고 할 수 있다.
기가포톤 대표이사 부사장 겸 CTO인 미조구치 하카루는 “최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 상정한 파일럿 광원으로 가동률 80% 이상의 가능성을 확인한 것은 EUV 광원의 시장 도입이 조금 더 가까워졌다는 것을 시사한다”며 “기가포톤은 지속적으로 양산을 실현하기 위해 고가동·고신뢰성을 실현할 EUV 광원을 개발하겠다”고 말했다.
www.gigaphoton.com
   
  0
3500
 
번호     글 제 목  작성자 작성일 조회
5 기가포톤, EUV 파일럿 광원으로 가동률 80% 이상의 가능성 확인 관리자 2017-08-09 441
4 기가포톤, 레이저 장비 업그레이드 추진 관리자 2015-11-11 1024
3 SPI Lasers, JK Lasers 인수 관리자 2015-05-15 1845
2 오스람, BMW i8 레이저 라이트의 시스템 파트너로 선정 관리자 2014-09-05 1120
1 독일 지방법원, LPKF-모토로라 특허 침해 소송 관리자 2014-08-06 2576
1

(주)한국산업정보센터
TEL:02-868-0211 / FAX:02-868-0860 / Email:dienmold@dienmold.com