|
New Technology
½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
HOME > ·¹ÀÌÀú±â¼ú > ½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
|
|
¤ýÀÛ¼ºÀÚ |
°ü¸®ÀÚ
|
¤ýÀÛ¼ºÀÏ |
2021-01-08 (±Ý) 17:29 |
¤ý÷ºÎ#1 |
b3aab3eb.jpg
(150KB) (Down:0)
|
|
¤ýÃßõ: 0 ¤ýÁ¶È¸: 1226
|
|
|
À߸ø ¸¸µé¾îµµ ·¹ÀÌÀú°¡ µÇ´Â ´õ ÀÛÀº ³ª³ë·¹ÀÌÀú °³¹ß
¹ÝÁö¿Í µµ³ÓÀÌ °°Àº ¹°Ã¼¶ó¸é? ±¸¸ÛÀÌ Çϳª¶ó´Â °øÅëÁ¡À» Áö´Ñ ÀÌ µÎ ¹°Ã¼´Â ¿¬¼ÓÀûÀÎ º¯ÇüÀ» ÅëÇØ ±¸¸ÛÀÇ °³¼ö¸¦ ¹Ù²Ü ¼ö ¾ø¾î À§»óÇÐÀû »óÅ·δ Â÷ÀÌ°¡ ¾ø´Ù. ±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ À̸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¼Ò¸ðÀü·ÂÀ» Å©°Ô ³·Ãá ´õ ÀÛÀº ³ª³ë·¹ÀÌÀú¸¦ ¼±º¸¿´´Ù. Çѱ¹¿¬±¸Àç´Ü(ÀÌ»çÀå ³ëÁ¤Çý)Àº ¹ÚÈ«±Ô ±³¼ö(°í·Á´ëÇб³) ¿¬±¸ÆÀÀÌ »õ·Î¿î À§»óÇÐÀû »óŸ¦ ±¸Çö, ±¸Á¶°¡ ÈåÆ®·¯Áö°Å³ª ÈìÁýÀÌ »ý°Üµµ ÀÛÀº °ø°£¿¡ ºûÀ» ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î Áý¼ÓÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ³ª³ë·¹ÀÌÀú¸¦ °³¹ßÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. À§»óÇÐÀû »óŸ¦ ±¤ÇÐÀåÄ¡¿¡ Á¢¸ñ, ¼ÒÀÚ¸¦ ´õ ÀÛ°Ô, µµÆķθ¦ ´õ ºóÆ´¾ø°Ô ¸¸µé·Á´Â ¿¬±¸°¡ È°¹ßÇÏ´Ù. ¸¶Âù°¡Áö·Î ´õ ¾ÈÁ¤ÀûÀÌ°í ´õ ÀÛÀº ·¹ÀÌÀú¸¦ ¸¸µé·Á´Â ½Ãµµµµ À̾îÁö°í ÀÖ¾ú´Ù. ÇÏÁö¸¸ ±âÁ¸ °¡ÀåÀÚ¸® »óŸ¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ·¹ÀÌÀú´Â °¡ÀåÀÚ¸® ¼±µéÀÌ ¿¬°áµÇ¾î ´ÝÈù °í¸®¸¦ ¸¸µé¾î¾ß¸¸ ÀÛµ¿ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ·¹ÀÌÀúÀÇ Å©±â°¡ Ä¿Áø´Ù. ¸¶Ä¡ ±ä ÁÙÀÇ ¾çÂÊ ³¡À» ¿¬°áÇÏ¿© Å« °í¸®¸¦ ¸¸µå´Â °Í°ú °°Àº »óȲÀÌ´Ù. ÀÌ¿¡ ¿¬±¸ÆÀÀº µ¿ÀÛÁ¶°ÇÀÌ ±î´Ù·Ó°í ¼ÒÇüÈ¿¡µµ ÇÑ°è°¡ ÀÖ´Â °¡ÀåÀÚ¸®(edge) »óÅ ´ë½Å ¸ð¼¸®(corner) »óÅÂÀÇ ÇÑ Á¡¿¡¸¸ ºûÀÌ ¸ðÀÌ´Â »õ·Î¿î À§»ó»óŸ¦ ÀÌ¿ëÇß´Ù. Æò¸éÀÇ »ç°¢°ÝÀÚ(plane square lattice) ±¸Á¶¸¦ °í¾È, ³× ¸ð¼¸®¿¡ ºûÀÌ ¸ðÀÌ´Â ¸ð¼¸® »óŸ¦ ±¸ÇöÇÏÀÚ ÀÌ¿ôÇÑ ¸ð¼¸® »óÅ°¡ ¼·Î °áÇÕ ÇÏ¸é¼ ³× °³ÀÇ »õ·Î¿î À§»ó»óŸ¦ ³ªÅ¸³½ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ·¸°Ô ¸¸µé¾îÁø ·¹ÀÌÀú´Â ±âÁ¸ °¡ÀåÀÚ¸® »óŸ¦ ÀÌ¿ëÇÑ ·¹ÀÌÀú º¸´Ù Å©±â´Â 5¹è ÀÌ»ó ÀÛ°í ¼Ò¸ðÀü·ÂÀº 80¹è ÀÌ»ó ³·¾ÆÁ³´Ù. »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ±âÁ¸ À§»ó·¹ÀÌÀú°¡ ºûÀÇ ¼Õ½ÇÀÌ Ä¿ ¿µÇÏ 270µµÀÇ Àú¿Â¿¡¼ µ¿ÀÛÇϴµ¥ ¹ÝÇØ »ó¿Â¿¡¼µµ µ¿ÀÛÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °Íµµ ÀåÁ¡ÀÌ´Ù. ÀÛÀº Å©±â¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ºûÀ» Áý¼ÓÇϴµ¥ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡Áö ¾Ê±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ½ÇÁ¦ À̸¦ ÀçÇöÇϱâ À§ÇØ ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ±¤°áÁ¤ ³ª³ëÆÐÅÏÀ» Á¦ÀÛ, 4°³ÀÇ ·¹ÀÌÀú ¸ðµå¸¦ ¹ßÁøÇÏ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß´Ù. ÀÌ·ÐÀûÀ¸·Î ¿¹ÃøÇÑ 4°³ÀÇ ¸ð¼¸® »óŸ¦ ½ÇÁ¦ °ËÁõÇß´Ù. ƯÈ÷ ´ë°¢¼± ¾çÂÊ ¸ð¼¸®¿¡¼ ·¹ÀÌÀú ºûÀÌ µ¿½Ã¿¡ ¸ðÀÌ´Â À§»ó »óÅ´ À̹ø ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ »õ·Ó°Ô °üÃøµÇ¾ú´Ù. ¸ð¼¸® »óÅ À§»óÀ» ÀÌ¿ë, ´õ ¾ÈÁ¤ÀûÀÌ°í ¿ì¼öÇÑ ±¤¿øÀ¸·Î ¾²ÀÏ ¼ö ÀÖ´Â ³ª³ë·¹ÀÌÀú °³³äÀ» Á¦½Ã, ±¤¼ÒÀÚ »ó¿ëȸ¦ ¾Õ´ç±æ ½Ç¸¶¸®°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. ÇÑÆí °úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎ¿Í Çѱ¹¿¬±¸Àç´ÜÀÌ ÃßÁøÇÏ´Â ¸®´õ¿¬±¸»ç¾÷ÀÇ Áö¿øÀ¸·Î ¼öÇàµÈ À̹ø ¿¬±¸ÀÇ ¼º°ú´Â ±¹Á¦ÇмúÁö¡®³×ÀÌó Ä¿¹Â´ÏÄÉÀ̼ÇÁî(Nature Communications)¡¯¿¡ 11¿ù 13ÀÏ °ÔÀçµÇ¾ú´Ù. www.nrf.re.kr
|
|
|
¹øÈ£ |
|
±Û Á¦ ¸ñ |
ÀÛ¼ºÀÚ |
ÀÛ¼ºÀÏ |
Á¶È¸ |
17 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, EUV ÆÄÀÏ·µ ±¤¿øÀ¸·Î ¹ß±¤È¿À² 5%ÀÇ ¼¼°è±â·Ï ¼ö¸³
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-11-08
|
1321
|
|
16 |
|
¿¡µå¸óµå, °íÇØ»óµµ ´Ù¸ñÀû ·»Áî Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2018-11-06
|
1319
|
|
15 |
|
EO, 3°³ ¹èÀ²ÀÇ Microscope Eyepiece Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-11-07
|
1313
|
|
14 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, ÃֽŠ¸ðµ¨ KrF ±¤¿ø ¡®G60K¡¯ ÃâÇÏ
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-12-02
|
1278
|
|
13 |
|
Æ®¶óÀÌ·ç¹Ì³ª, ÃʼÒÇü VCSEL ¾î·¹ÀÌ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2019-07-04
|
1273
|
|
12 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, ¼¼°è ÃÖ´ë Ãâ·Â ¡®KrF ·¹ÀÌÀú G45K¡¯ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2019-03-04
|
1255
|
|
11 |
|
Á¦ÀÌ¿¥¸ÞµðÄÃ, ºñ¹Ùºñ³Ê½º °íÁÖÆÄ ÇÁ¶ô¼Å³Î ·¹ÀÌÀú ·±Äª
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-03-03
|
1236
|
|
10 |
|
À߸ø ¸¸µé¾îµµ ·¹ÀÌÀú°¡ µÇ´Â ´õ ÀÛÀº ³ª³ë·¹ÀÌÀú °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2021-01-08
|
1226
|
|
9 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, 2020³â ½ÅÇü ·¹ÀÌÀú µµÀÔ
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-03-03
|
1190
|
|
8 |
|
¿ÀÅä´Ð½º, ¹æÀ¯Çü Æ÷Åä¼¾¼ BJR-F
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-09-02
|
1177
|
|
7 |
|
»ï¼º¼¿ïº´¿ø, »õ ³ë¾È¼ö¼ú¹ý µµÀÔ
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-03-03
|
1164
|
|
6 |
|
ÀúÃâ·Â ±¤¼± Ä¡·á °í¹«Àû ¿¬±¸¼º°ú ¹ßÇ¥
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-05-09
|
1078
|
|
5 |
|
¸ÞŸ¹°Áú·Î ±¤Àü¼ÒÀÚ Àü·ÂÈ¿À² °³¼± ¼º°ø
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-07-07
|
1065
|
|
4 |
|
µ¿¿ø, Çöó½ºÆ½ ¿ë±â ¾ø¾Ø ¡®¾ç¹Ý±è ÆÐÅ°Áö¡¯ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-09-02
|
1044
|
|
3 |
|
KLA, ÀüÀÚºö °áÇÔ°Ë»ç½Ã½ºÅÛ ¡®eSL10¡¯ °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-08-14
|
997
|
|
2 |
|
ÇÑȽýºÅÛ, ¿È»ó Ä«¸Þ¶ó Áö´ÉÇü ¸ðµâ ¡®ÄöÅÒ·¹µå¡¯ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2021-03-03
|
941
|
|
16
|
|