|
New Technology
½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
HOME > ·¹ÀÌÀú±â¼ú > ½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
|
|
¤ýÀÛ¼ºÀÚ |
°ü¸®ÀÚ
|
¤ýÀÛ¼ºÀÏ |
2020-08-14 (±Ý) 17:31 |
¤ý÷ºÎ#1 |
c0fcc0dabaf6.jpg
(35KB) (Down:0)
|
|
¤ýÃßõ: 0 ¤ýÁ¶È¸: 998
|
|
|
KLA, ÀüÀÚºö °áÇÔ°Ë»ç½Ã½ºÅÛ ¡®eSL10¡¯ °³¹ß
ºü¸¥ ¿î¿ë ¹× µö ·¯´× ¾Ë°í¸®Áò Àû¿ë KLA CorporationÀº ÃÖ±Ù Çõ½ÅÀûÀÎ ÀüÀÚºö ÆÐÅÏ ¿þÀÌÆÛ °áÇÔ °Ë»ç ½Ã½ºÅÛ(e-beam patterned-wafer defect inspection system) ¡®eSL10¡¯À» °³¹ßÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù. eSL10Àº ±âÁ¸ ±¤ÇÐ Àåºñ³ª ´Ù¸¥ ÀüÀÚºö °áÇÔ °Ë»ç Ç÷§ÆûÀ¸·Î´Â °ËÃâÇÒ ¼ö ¾ø´Â °áÇÔÀ» °ËÃâÇÏ´Â ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î, ±ØÀڿܼ±(EUV) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤À¸·Î Á¦Á¶µÇ´Â ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» ºñ·ÔÇØ °í¼º´É ·ÎÁ÷°ú ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ĨÀÇ Ãâ½Ã ½Ã±â¸¦ ¾Õ´ç±âµµ·Ï ¼³°èµÇ¾ú´Ù. KLA e-beam ºÎ¹®ÀÇ ¾Æ¹Ì¸£ ¾ÆÁ¶¸£µ¥°£(Amir Azordegan) ÃÑ°ý ¸Å´ÏÀú´Â ¡°´ÜÀÏ °íÀü·ù¹Ðµµ ÀüÀÚºöÀ» »ç¿ëÇÏ´Â eSL10 ½Ã½ºÅÛÀº ÀüÀÚºö °Ë»ç ´É·ÂÀ» »õ·Î¿î ¼öÁØÀ¸·Î ²ø¾î¿Ã·È´Ù¡±¸ç ¡°Áö±Ý±îÁö ±âÁ¸ ÀüÀÚºö °Ë»ç ½Ã½ºÅÛÀº ³ôÀº °¨µµ¿Í ºü¸¥ ¼Óµµ Áß Çϳª¸¸ Á¦°øÇßÀ¸¸ç ÀÌ´Â ½Ã½ºÅÛÀÇ ½ÇÁ¦ ÀÀ¿ëÀ» Å©°Ô Á¦ÇÑÇß´Ù. ¿ì¸®ÀÇ ¶Ù¾î³ ¿£Áö´Ï¾î¸µ ÆÀÀº ÀüÀÚºö ¾ÆÅ°ÅØó¿Í ¾Ë°í¸®Áò¿¡ ¿ÏÀüÈ÷ »õ·Î¿î ¹æ½ÄÀ¸·Î Á¢±ÙÇØ ±âÁ¸ ÅøÀÌ Ç®Áö ¸øÇß´ø ¹®Á¦µéÀ» ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã½ºÅÛÀ» ¼³°èÇß´Ù. KLAÀÇ ÀüÀÚºö °Ë»ç´Â ÷´Ü µð¹ÙÀ̽º Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀÎ Àåºñ·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù. eSL10 ÀüÀÚºö °Ë»ç ½Ã½ºÅÛÀº Áß´ëÇÑ °áÇÔ °ËÃâÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ Çõ½ÅÀû ±â¼úÀ» žÀçÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿ì¼±ÀûÀ¸·Î Àû¿ëµÈ ±â¼úÀº °íÀ¯ÀÇ ÀüÀÚ ±¤ÇÐ ¼³°èÀÌ´Ù. ´Ù¾çÇÑ Á¾·ùÀÇ °øÁ¤ Ãþ°ú ¸ðµç µð¹ÙÀ̽º À¯ÇüÀÇ °áÇÔ °ËÃâÀ» À§ÇØ ¾÷°è¿¡¼ °¡Àå Æø³ÐÀº ¿î¿ë ¹üÀ§¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù. ¿»·Î¿ì½ºÅæ(Yellowstone) ½ºÄ³´× ¸ðµå¿¡¼´Â ½ºÄµ 1¹ø¿¡ 100¾ï Çȼ¿ÀÇ Á¤º¸¸¦ »ç¿ëÇØ ³ôÀº Çػ󵵸¦ À¯ÁöÇÏ¸é¼ ºü¸¥ ¼Óµµ·Î ¿î¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀǽɵǴ ÇÖ½ºÆÌÀÇ È¿À²ÀûÀÎ °Ë»ç¿Í ±¤¹üÀ§ÇÑ ¿µ¿ªÀÇ °áÇÔ °ËÃâµµ °¡´ÉÇÏ´Ù. Simul-6 ¼¾¼ ±â¼úÀº ´Ü ÇÑ ¹øÀÇ ½ºÄµÀ¸·Î Ç¥¸é, Çü»ó, Àç·á ¸í¾Ï, µö Æ®·»Ä¡(deep trench) Á¤º¸¸¦ ¸ðµÎ ¼öÁýÇØ µð¹ÙÀ̽º ±¸Á¶¿Í Àç·á¿¡ ´ëÇÑ ´Ù¸¥ °áÇÔ À¯ÇüÀ» ½Äº°ÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ ½Ã°£À» ÁÙ¿©ÁÙ ¼ö ÀÖ´Ù. www.kla.com
|
|
|
¹øÈ£ |
|
±Û Á¦ ¸ñ |
ÀÛ¼ºÀÚ |
ÀÛ¼ºÀÏ |
Á¶È¸ |
17 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, EUV ÆÄÀÏ·µ ±¤¿øÀ¸·Î ¹ß±¤È¿À² 5%ÀÇ ¼¼°è±â·Ï ¼ö¸³
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-11-08
|
1322
|
|
16 |
|
¿¡µå¸óµå, °íÇØ»óµµ ´Ù¸ñÀû ·»Áî Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2018-11-06
|
1319
|
|
15 |
|
EO, 3°³ ¹èÀ²ÀÇ Microscope Eyepiece Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-11-07
|
1314
|
|
14 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, ÃֽŠ¸ðµ¨ KrF ±¤¿ø ¡®G60K¡¯ ÃâÇÏ
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-12-02
|
1278
|
|
13 |
|
Æ®¶óÀÌ·ç¹Ì³ª, ÃʼÒÇü VCSEL ¾î·¹ÀÌ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2019-07-04
|
1274
|
|
12 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, ¼¼°è ÃÖ´ë Ãâ·Â ¡®KrF ·¹ÀÌÀú G45K¡¯ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2019-03-04
|
1255
|
|
11 |
|
Á¦ÀÌ¿¥¸ÞµðÄÃ, ºñ¹Ùºñ³Ê½º °íÁÖÆÄ ÇÁ¶ô¼Å³Î ·¹ÀÌÀú ·±Äª
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-03-03
|
1236
|
|
10 |
|
À߸ø ¸¸µé¾îµµ ·¹ÀÌÀú°¡ µÇ´Â ´õ ÀÛÀº ³ª³ë·¹ÀÌÀú °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2021-01-08
|
1226
|
|
9 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, 2020³â ½ÅÇü ·¹ÀÌÀú µµÀÔ
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-03-03
|
1190
|
|
8 |
|
¿ÀÅä´Ð½º, ¹æÀ¯Çü Æ÷Åä¼¾¼ BJR-F
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-09-02
|
1177
|
|
7 |
|
»ï¼º¼¿ïº´¿ø, »õ ³ë¾È¼ö¼ú¹ý µµÀÔ
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-03-03
|
1164
|
|
6 |
|
ÀúÃâ·Â ±¤¼± Ä¡·á °í¹«Àû ¿¬±¸¼º°ú ¹ßÇ¥
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-05-09
|
1078
|
|
5 |
|
¸ÞŸ¹°Áú·Î ±¤Àü¼ÒÀÚ Àü·ÂÈ¿À² °³¼± ¼º°ø
|
°ü¸®ÀÚ |
2017-07-07
|
1065
|
|
4 |
|
µ¿¿ø, Çöó½ºÆ½ ¿ë±â ¾ø¾Ø ¡®¾ç¹Ý±è ÆÐÅ°Áö¡¯ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-09-02
|
1045
|
|
3 |
|
KLA, ÀüÀÚºö °áÇÔ°Ë»ç½Ã½ºÅÛ ¡®eSL10¡¯ °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2020-08-14
|
998
|
|
2 |
|
ÇÑȽýºÅÛ, ¿È»ó Ä«¸Þ¶ó Áö´ÉÇü ¸ðµâ ¡®ÄöÅÒ·¹µå¡¯ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2021-03-03
|
941
|
|
16
|
|